Etude du chargement résiduel d'actionneurs électrostatiques sans diélectrique dans les commutateurs MEMS RF

Type de document :
Communication dans un congrès
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Contributeur : Marie-Laure Guillat <>
Soumis le : jeudi 26 novembre 2009 - 12:04:44
Dernière modification le : mardi 12 novembre 2019 - 14:06:03

Identifiants

  • HAL Id : hal-00436305, version 1

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Citation

David Mardivirin, Arnaud Pothier, Jean-Christophe Orlianges, Aurelian Crunteanu, Pierre Blondy. Etude du chargement résiduel d'actionneurs électrostatiques sans diélectrique dans les commutateurs MEMS RF. 16èmes Journées Nationales Microondes (JNM 2009), May 2009, Grenoble, France. pp.4F-1 Session Affiche. ⟨hal-00436305⟩

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