Propriétés électriques des films minces de carbone amorphe dopé au nickel déposés par ablation laser : intégration dans des composants RF et microonde

Jean-Christophe Orlianges (1) , Aurelian Crunteanu (1) , Julien Givernaud (1) , Arnaud Pothier (1) , Vincent Laur (2) , Pierre Blondy (1) , Corinne Champeaux (3) , Alain Catherinot (3)

1 MINACOM
2 XLIM - XLIM
3 Axe 2 : procédés de traitements de surface

Jean-Christophe Orlianges, Aurelian Crunteanu, Julien Givernaud, Arnaud Pothier, Vincent Laur, et al.. Propriétés électriques des films minces de carbone amorphe dopé au nickel déposés par ablation laser : intégration dans des composants RF et microonde. 16èmes Journées Nationales Microondes (JNM 2009), May 2009, Grenoble, France. pp.1B-1 Session Orale. ⟨hal-00437196⟩