Miniature RF MEMS switchable capacitor mechanical design for reconfiguration capabilities in the 100ns range

Type de document :
Communication dans un congrès
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https://hal-unilim.archives-ouvertes.fr/hal-00437604
Contributeur : Marie-Laure Guillat <>
Soumis le : mardi 1 décembre 2009 - 09:10:42
Dernière modification le : jeudi 11 janvier 2018 - 06:26:12

Identifiants

  • HAL Id : hal-00437604, version 1

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Aurélie Verger, Arnaud Pothier, Jean-Christophe Orlianges, Pierre Blondy. Miniature RF MEMS switchable capacitor mechanical design for reconfiguration capabilities in the 100ns range. International Conference Micromechanics Europe'09, Sep 2009, Toulouse, France. ⟨hal-00437604⟩

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