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Communication Dans Un Congrès Année : 2010

Zero level metal thin film package for RF MEMS

Fabien Barrière
  • Fonction : Auteur
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MINACOM
Aurelian Crunteanu
MINACOM
Annie Bessaudou
MINACOM
Arnaud Pothier
MINACOM
CV
Françoise Cosset
MINACOM
David Mardivirin
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Pierre Blondy
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MINACOM

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Soumis le : mardi 1 décembre 2009-10:20:53

Dernière modification le : mercredi 8 février 2023-17:10:48

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Dates et versions

hal-00437628 , version 1 (01-12-2009)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00437628 , version 1

Citer

Fabien Barrière, Aurelian Crunteanu, Annie Bessaudou, Arnaud Pothier, Françoise Cosset, et al.. Zero level metal thin film package for RF MEMS. 10th Topical Meeting on Silicon Monolithic Integrated Circuits in RF Systems, Jan 2010, New Orleans, United States. pp.TU1B-4. ⟨hal-00437628⟩

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