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Communication dans un congrès

Zero level metal thin film package for RF MEMS

Type de document :
Communication dans un congrès
Liste complète des métadonnées

https://hal-unilim.archives-ouvertes.fr/hal-00437628
Contributeur : Marie-Laure Guillat <>
Soumis le : mardi 1 décembre 2009 - 10:20:53
Dernière modification le : jeudi 19 décembre 2019 - 17:48:01

Identifiants

  • HAL Id : hal-00437628, version 1

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Citation

Fabien Barrière, Aurelian Crunteanu, Annie Bessaudou, Arnaud Pothier, Françoise Cosset, et al.. Zero level metal thin film package for RF MEMS. 10th Topical Meeting on Silicon Monolithic Integrated Circuits in RF Systems, Jan 2010, New Orleans, United States. pp.TU1B-4. ⟨hal-00437628⟩

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