Zero level metal thin film package for RF MEMS - Université de Limoges Accéder directement au contenu
Communication Dans Un Congrès Année : 2010

Zero level metal thin film package for RF MEMS

Fabien Barrière
  • Fonction : Auteur
  • PersonId : 919451
MINACOM
Aurelian Crunteanu
MINACOM
Annie Bessaudou
MINACOM
Arnaud Pothier
MINACOM
CV
Françoise Cosset
MINACOM
David Mardivirin
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MINACOM
Pierre Blondy
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  • PersonId : 915831
MINACOM

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https://unilim.hal.science/hal-00437628

Soumis le : mardi 1 décembre 2009-10:20:53

Dernière modification le : vendredi 24 mars 2023-14:52:52

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00437628 , version 1 (01-12-2009)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00437628 , version 1

Citer

Fabien Barrière, Aurelian Crunteanu, Annie Bessaudou, Arnaud Pothier, Françoise Cosset, et al.. Zero level metal thin film package for RF MEMS. 10th Topical Meeting on Silicon Monolithic Integrated Circuits in RF Systems, Jan 2010, New Orleans, United States. pp.TU1B-4. ⟨hal-00437628⟩

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