Réalisation de films piézoélectriques de nitrure d'aluminium par dépôt chimique en phase vapeur assisté par plasma - Archive ouverte HAL Accéder directement au contenu
Communication Dans Un Congrès Année : 2009

Réalisation de films piézoélectriques de nitrure d'aluminium par dépôt chimique en phase vapeur assisté par plasma

(1) , , (1) , (2) , , (2) , (2) , (3)
1
2
3
G. Sanchez
  • Fonction : Auteur
Aurelian Crunteanu
A. Bologna-Alles
  • Fonction : Auteur
Pierre Blondy
  • Fonction : Auteur
  • PersonId : 915831
Arnaud Pothier
Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00437760 , version 1 (01-12-2009)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00437760 , version 1

Citer

Pascal Tristant, G. Sanchez, Christelle Dublanche-Tixier, Aurelian Crunteanu, A. Bologna-Alles, et al.. Réalisation de films piézoélectriques de nitrure d'aluminium par dépôt chimique en phase vapeur assisté par plasma. Premier Colloque Francophone sur les Matériaux, les Procédés et l'Environnement, May 2009, Busteni, Romania. pp.45-48. ⟨hal-00437760⟩
95 Consultations
0 Téléchargements

Partager

Gmail Facebook Twitter LinkedIn More