Réalisation de films piézoélectriques de nitrure d'aluminium par dépôt chimique en phase vapeur assisté par plasma

Pascal Tristant; G. Sanchez; Christelle Dublanche-Tixier; Aurelian Crunteanu; A. Bologna-Alles; Pierre Blondy; Arnaud Pothier; Florent Tetard

Communication dans un congrès

Réalisation de films piézoélectriques de nitrure d'aluminium par dépôt chimique en phase vapeur assisté par plasma

Pascal Tristant ¹ G. Sanchez Christelle Dublanche-Tixier ¹ Aurelian Crunteanu ² A. Bologna-Alles Pierre Blondy ² Arnaud Pothier ² Florent Tetard ³

1 Axe 2 : procédés de traitements de surface

SPCTS - Science des Procédés Céramiques et de Traitements de Surface

2 MINACOM

XLIM - XLIM

3 PMTM - Propriétés mécaniques et thermodynamiques des matériaux

Type de document :

Communication dans un congrès

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Contributeur : Marie-Laure Guillat Connectez-vous pour contacter le contributeur
Soumis le : mardi 1 décembre 2009 - 14:01:44
Dernière modification le : samedi 26 mars 2022 - 04:28:43

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