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Communication dans un congrès

Réalisation de films piézoélectriques de nitrure d'aluminium par dépôt chimique en phase vapeur assisté par plasma

Type de document :
Communication dans un congrès
Liste complète des métadonnées

https://hal-unilim.archives-ouvertes.fr/hal-00437760
Contributeur : Marie-Laure Guillat Connectez-vous pour contacter le contributeur
Soumis le : mardi 1 décembre 2009 - 14:01:44
Dernière modification le : mercredi 15 décembre 2021 - 09:59:29

Identifiants

  • HAL Id : hal-00437760, version 1

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Citation

Pascal Tristant, G. Sanchez, Christelle Dublanche-Tixier, Aurelian Crunteanu, A. Bologna-Alles, et al.. Réalisation de films piézoélectriques de nitrure d'aluminium par dépôt chimique en phase vapeur assisté par plasma. Premier Colloque Francophone sur les Matériaux, les Procédés et l'Environnement, May 2009, Busteni, Romania. pp.45-48. ⟨hal-00437760⟩

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