Arrêt de service lundi 11 juillet de 12h30 à 13h : tous les sites du CCSD (HAL, EpiSciences, SciencesConf, AureHAL) seront inaccessibles (branchement réseau à modifier)
Accéder directement au contenu Accéder directement à la navigation
Communication dans un congrès

Réalisation de films piézoélectriques de nitrure d'aluminium par dépôt chimique en phase vapeur assisté par plasma

Type de document :
Communication dans un congrès
Liste complète des métadonnées

https://hal-unilim.archives-ouvertes.fr/hal-00437760
Contributeur : Marie-Laure Guillat Connectez-vous pour contacter le contributeur
Soumis le : mardi 1 décembre 2009 - 14:01:44
Dernière modification le : samedi 26 mars 2022 - 04:28:43

Identifiants

  • HAL Id : hal-00437760, version 1

Collections

Citation

Pascal Tristant, G. Sanchez, Christelle Dublanche-Tixier, Aurelian Crunteanu, A. Bologna-Alles, et al.. Réalisation de films piézoélectriques de nitrure d'aluminium par dépôt chimique en phase vapeur assisté par plasma. Premier Colloque Francophone sur les Matériaux, les Procédés et l'Environnement, May 2009, Busteni, Romania. pp.45-48. ⟨hal-00437760⟩

Partager

Métriques

Consultations de la notice

93