Nitriding process at low temperature for thin metal films in (Ar-N2-H2) expanding ternary plasma

Said Touimi; Isabelle Jauberteau; Sébastien J. Weber; Annie Bessaudou; Armand Passelergue; Richard Mayet; Jean-Louis Jauberteau; A. Aubreton

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Nitriding process at low temperature for thin metal films in (Ar-N2-H2) expanding ternary plasma

Said Touimi ¹ Isabelle Jauberteau ¹ Sébastien J. Weber ² Annie Bessaudou ³ Armand Passelergue ⁴ Richard Mayet ⁵ Jean-Louis Jauberteau ¹ A. Aubreton

1 Axe 2 : procédés de traitements de surface

SPCTS - Science des Procédés Céramiques et de Traitements de Surface

2 LPM - Laboratoire de physique des matériaux

3 MINACOM

XLIM - XLIM

4 XLIM - XLIM

5 SPCTS - Science des Procédés Céramiques et de Traitements de Surface

Said Touimi ¹
Auteur
PersonId : 915589

Isabelle Jauberteau ¹
Auteur
PersonId : 16112
IdHAL : isabelle-jauberteauIdRef : 154164852

Sébastien J. Weber ²
Auteur
PersonId : 18202
IdHAL : sebastien-weberORCID : 0000-0001-8531-5551IdRef : 148934536

Annie Bessaudou ³
Auteur
PersonId : 6307
IdHAL : annie-bessaudouIdRef : 070169225

Armand Passelergue ⁴
Auteur
PersonId : 180587
IdHAL : armand-passelergueIdRef : 253135249

Richard Mayet ⁵
Auteur
PersonId : 949786

Jean-Louis Jauberteau ¹
Auteur
PersonId : 915590

A. Aubreton
Auteur

1 Axe 2 : procédés de traitements de surface (France) StructId : 400912

SPCTS - Science des Procédés Céramiques et de Traitements de Surface (SPCTS, Centre Européen de la Céramique, 12 Rue Atlantis, 87068 LIMOGES CEDEX - France) StructId : 10314
- UNILIM - Université de Limoges : UMR6638 (33 rue François Mitterrand BP23204 87032 Limoges - France) StructId : 5928
- ENSCI - Ecole Nationale Supérieure de Céramique Industrielle : UMR6638 (Centre Européen de la Céramique - 12, rue Atlantis - 87068 Limoges Cedex - France) StructId : 300398
- IPAM - Institut des Procédés Appliqués aux Matériaux : UMR6638 (Centre Européen de la Céramique 12, rue Atlantis, parc d’Ester 87068 Limoges Cedex - France) StructId : 301999
  - UNILIM - Université de Limoges (33 rue François Mitterrand BP23204 87032 Limoges - France) StructId : 5928
- INC - Institut de Chimie du CNRS : UMR6638 (3 Rue Michel-Ange 75 016 Paris - France) StructId : 341038
- CNRS - Centre National de la Recherche Scientifique : UMR6638 (France) StructId : 441569

2 LPM - Laboratoire de physique des matériaux (BP 239 54506 VANDOEUVRE LES NANCY CEDEX - France) StructId : 1106

UHP - Université Henri Poincaré - Nancy 1 (24-30 rue Lionnois, BP 60120, 54 003 NANCY cedex, France - France) StructId : 300291
INPL - Institut National Polytechnique de Lorraine (France) StructId : 300293
CNRS - Centre National de la Recherche Scientifique : UMR7556 (France) StructId : 441569

3 MINACOM (France) StructId : 388216

XLIM - XLIM (123 Avenue Albert THOMAS 87060 LIMOGES CEDEX - France) StructId : 12550
- UNILIM - Université de Limoges : UMR6172 (33 rue François Mitterrand BP23204 87032 Limoges - France) StructId : 5928
- CNRS - Centre National de la Recherche Scientifique : UMR6172 (France) StructId : 441569

4 XLIM - XLIM (123 Avenue Albert THOMAS 87060 LIMOGES CEDEX - France) StructId : 12550

UNILIM - Université de Limoges : UMR6172 (33 rue François Mitterrand BP23204 87032 Limoges - France) StructId : 5928
CNRS - Centre National de la Recherche Scientifique : UMR6172 (France) StructId : 441569

5 SPCTS - Science des Procédés Céramiques et de Traitements de Surface (SPCTS, Centre Européen de la Céramique, 12 Rue Atlantis, 87068 LIMOGES CEDEX - France) StructId : 10314

UNILIM - Université de Limoges : UMR6638 (33 rue François Mitterrand BP23204 87032 Limoges - France) StructId : 5928
ENSCI - Ecole Nationale Supérieure de Céramique Industrielle : UMR6638 (Centre Européen de la Céramique - 12, rue Atlantis - 87068 Limoges Cedex - France) StructId : 300398
IPAM - Institut des Procédés Appliqués aux Matériaux : UMR6638 (Centre Européen de la Céramique 12, rue Atlantis, parc d’Ester 87068 Limoges Cedex - France) StructId : 301999
- UNILIM - Université de Limoges (33 rue François Mitterrand BP23204 87032 Limoges - France) StructId : 5928
INC - Institut de Chimie du CNRS : UMR6638 (3 Rue Michel-Ange 75 016 Paris - France) StructId : 341038
CNRS - Centre National de la Recherche Scientifique : UMR6638 (France) StructId : 441569

Type de document :

Communication dans un congrès

Liste complète des métadonnées

https://hal-unilim.archives-ouvertes.fr/hal-00438452
Contributeur : Marie-Laure Guillat Connectez-vous pour contacter le contributeur
Soumis le : jeudi 3 décembre 2009 - 16:50:16
Dernière modification le : samedi 26 mars 2022 - 04:30:54

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HAL Id : hal-00438452, version 1

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Said Touimi, Isabelle Jauberteau, Sébastien J. Weber, Annie Bessaudou, Armand Passelergue, et al.. Nitriding process at low temperature for thin metal films in (Ar-N2-H2) expanding ternary plasma. Innovations in Thin Films Processing and Characterization (IFTPC), Nov 2009, Nancy, France. ⟨hal-00438452⟩

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