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Communication dans un congrès

An expanding microwave plasma to process thin metal films at low temperature

Type de document :
Communication dans un congrès
Liste complète des métadonnées

https://hal-unilim.archives-ouvertes.fr/hal-00918319
Contributeur : Annie Bessaudou Connectez-vous pour contacter le contributeur
Soumis le : vendredi 13 décembre 2013 - 12:08:01
Dernière modification le : samedi 26 mars 2022 - 04:28:20

Identifiants

  • HAL Id : hal-00918319, version 1

Citation

Isabelle Jauberteau, Jean-Louis Jauberteau, Julie Cornette, Annie Bessaudou, Richard Mayet, et al.. An expanding microwave plasma to process thin metal films at low temperature. Institut für Oberflächen und Schichtanalytik, Kaiserslautern (Allemagne), Oct 2013, Kaiserslautern, Germany. ⟨hal-00918319⟩

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