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Communication dans un congrès

An expanding microwave plasma to process thin metal films at low temperature

Type de document :
Communication dans un congrès
Liste complète des métadonnées

https://hal-unilim.archives-ouvertes.fr/hal-00918319
Contributeur : Annie Bessaudou <>
Soumis le : vendredi 13 décembre 2013 - 12:08:01
Dernière modification le : mercredi 14 février 2018 - 16:29:44

Identifiants

  • HAL Id : hal-00918319, version 1

Citation

Isabelle Jauberteau, Jean-Louis Jauberteau, Julie Cornette, Annie Bessaudou, Richard Mayet, et al.. An expanding microwave plasma to process thin metal films at low temperature. Institut für Oberflächen und Schichtanalytik, Kaiserslautern (Allemagne), Oct 2013, Kaiserslautern, Germany. ⟨hal-00918319⟩

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