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Communication dans un congrès
An expanding microwave plasma to process thin metal films at low temperature
Isabelle Jauberteau
1
Jean-Louis Jauberteau
1
Julie Cornette
2
Annie Bessaudou
3
Richard Mayet
4
Thérèse Merle-Méjean
2
1
SPCTS-AXE2 - Axe 2 : procédés plasmas et lasers
SPCTS - Science des Procédés Céramiques et de Traitements de Surface
2
SPCTS-AXE3 - Axe 3 : organisation structurale multiéchelle des matériaux
SPCTS - Science des Procédés Céramiques et de Traitements de Surface
Isabelle Jauberteau 1
Auteur IdHAL : isabelle-jauberteau
Jean-Louis Jauberteau 1
Auteur
Julie Cornette 2
Auteur
Annie Bessaudou 3
Auteur IdHAL : annie-bessaudou
Richard Mayet 4
Auteur
Thérèse Merle-Méjean 2
Auteur
1
SPCTS-AXE2 - Axe 2 : procédés plasmas et lasers (France)
- SPCTS - Science des Procédés Céramiques et de Traitements de Surface (SPCTS, Centre Européen de la Céramique, 12 Rue Atlantis, 87068 LIMOGES CEDEX - France)
- UNILIM - Université de Limoges : UMR7315 (33 rue François Mitterrand BP23204 87032 Limoges - France)
- CNRS - Centre National de la Recherche Scientifique : UMR7315 (France)
- INC - Institut de Chimie du CNRS : UMR7315 (3 Rue Michel-Ange 75 016 Paris - France)
- ENSCI - Ecole Nationale Supérieure de Céramique Industrielle : UMR7315 (Centre Européen de la Céramique - 12, rue Atlantis - 87068 Limoges Cedex - France)
- IPAM - Institut des Procédés Appliqués aux Matériaux : UMR7315 (Centre Européen de la Céramique
12, rue Atlantis, parc d’Ester
87068 Limoges Cedex - France)
- UNILIM - Université de Limoges (33 rue François Mitterrand BP23204 87032 Limoges - France)
2
SPCTS-AXE3 - Axe 3 : organisation structurale multiéchelle des matériaux (France)
- SPCTS - Science des Procédés Céramiques et de Traitements de Surface (SPCTS, Centre Européen de la Céramique, 12 Rue Atlantis, 87068 LIMOGES CEDEX - France)
- UNILIM - Université de Limoges : UMR7315 (33 rue François Mitterrand BP23204 87032 Limoges - France)
- CNRS - Centre National de la Recherche Scientifique : UMR7315 (France)
- INC - Institut de Chimie du CNRS : UMR7315 (3 Rue Michel-Ange 75 016 Paris - France)
- ENSCI - Ecole Nationale Supérieure de Céramique Industrielle : UMR7315 (Centre Européen de la Céramique - 12, rue Atlantis - 87068 Limoges Cedex - France)
- IPAM - Institut des Procédés Appliqués aux Matériaux : UMR7315 (Centre Européen de la Céramique
12, rue Atlantis, parc d’Ester
87068 Limoges Cedex - France)
- UNILIM - Université de Limoges (33 rue François Mitterrand BP23204 87032 Limoges - France)
3
XLIM-MINACOM - MINACOM (France)
- XLIM - XLIM (123 Avenue Albert THOMAS 87060 LIMOGES CEDEX - France)
- UNILIM - Université de Limoges : UMR7252 (33 rue François Mitterrand BP23204 87032 Limoges - France)
- CNRS - Centre National de la Recherche Scientifique : UMR7252 (France)
4
SPCTS - Science des Procédés Céramiques et de Traitements de Surface (SPCTS, Centre Européen de la Céramique, 12 Rue Atlantis, 87068 LIMOGES CEDEX - France)
- UNILIM - Université de Limoges : UMR7315 (33 rue François Mitterrand BP23204 87032 Limoges - France)
- CNRS - Centre National de la Recherche Scientifique : UMR7315 (France)
- INC - Institut de Chimie du CNRS : UMR7315 (3 Rue Michel-Ange 75 016 Paris - France)
- ENSCI - Ecole Nationale Supérieure de Céramique Industrielle : UMR7315 (Centre Européen de la Céramique - 12, rue Atlantis - 87068 Limoges Cedex - France)
- IPAM - Institut des Procédés Appliqués aux Matériaux : UMR7315 (Centre Européen de la Céramique
12, rue Atlantis, parc d’Ester
87068 Limoges Cedex - France)
- UNILIM - Université de Limoges (33 rue François Mitterrand BP23204 87032 Limoges - France)
Type de document :
Communication dans un congrès
Liste complète des métadonnées
https://hal-unilim.archives-ouvertes.fr/hal-00918319
Contributeur : Annie Bessaudou <>
Soumis le : vendredi 13 décembre 2013 - 12:08:01
Dernière modification le : mercredi 14 février 2018 - 16:29:44
Contributeur : Annie Bessaudou <>
Soumis le : vendredi 13 décembre 2013 - 12:08:01
Dernière modification le : mercredi 14 février 2018 - 16:29:44
Identifiants
- HAL Id : hal-00918319, version 1
Collections
XLIM | SPCTS | CNRS | SPCTS-AXE2 | SPCTS-AXE3 | IPAM | UNILIM | INC-CNRS | IRCER | IRCER-AXE3 | IRCER-AXE2
Citation
Isabelle Jauberteau, Jean-Louis Jauberteau, Julie Cornette, Annie Bessaudou, Richard Mayet, et al.. An expanding microwave plasma to process thin metal films at low temperature. Institut für Oberflächen und Schichtanalytik, Kaiserslautern (Allemagne), Oct 2013, Kaiserslautern, Germany. ⟨hal-00918319⟩
Métriques
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