 |
Communication dans un congrès
An expanding microwave plasma to process thin metal films at low temperature
Isabelle Jauberteau 1 Jean-Louis Jauberteau 1 Julie Cornette 2 Annie Bessaudou 3 Richard Mayet 4 Thérèse Merle-Méjean 2
1
SPCTS-AXE2 - Axe 2 : procédés plasmas et lasers
SPCTS - Science des Procédés Céramiques et de Traitements de Surface
2
SPCTS-AXE3 - Axe 3 : organisation structurale multiéchelle des matériaux
SPCTS - Science des Procédés Céramiques et de Traitements de Surface
Isabelle Jauberteau 1
Auteur
IdHAL : isabelle-jauberteauIdRef : 154164852
Jean-Louis Jauberteau 1
Auteur
Julie Cornette 2
Auteur
Annie Bessaudou 3
Auteur
IdHAL : annie-bessaudouIdRef : 070169225
Richard Mayet 4
Auteur
Thérèse Merle-Méjean 2
Auteur
1
SPCTS-AXE2 - Axe 2 : procédés plasmas et lasers (France)
- SPCTS - Science des Procédés Céramiques et de Traitements de Surface (SPCTS, Centre Européen de la Céramique, 12 Rue Atlantis, 87068 LIMOGES CEDEX - France)
- UNILIM - Université de Limoges : UMR7315 (33 rue François Mitterrand BP23204 87032 Limoges - France)
- ENSCI - Ecole Nationale Supérieure de Céramique Industrielle : UMR7315 (Centre Européen de la Céramique - 12, rue Atlantis - 87068 Limoges Cedex - France)
- IPAM - Institut des Procédés Appliqués aux Matériaux : UMR7315 (Centre Européen de la Céramique
12, rue Atlantis, parc d’Ester
87068 Limoges Cedex - France)
- UNILIM - Université de Limoges (33 rue François Mitterrand BP23204 87032 Limoges - France)
- INC - Institut de Chimie du CNRS : UMR7315 (3 Rue Michel-Ange 75 016 Paris - France)
- CNRS - Centre National de la Recherche Scientifique : UMR7315 (France)
2
SPCTS-AXE3 - Axe 3 : organisation structurale multiéchelle des matériaux (France)
- SPCTS - Science des Procédés Céramiques et de Traitements de Surface (SPCTS, Centre Européen de la Céramique, 12 Rue Atlantis, 87068 LIMOGES CEDEX - France)
- UNILIM - Université de Limoges : UMR7315 (33 rue François Mitterrand BP23204 87032 Limoges - France)
- ENSCI - Ecole Nationale Supérieure de Céramique Industrielle : UMR7315 (Centre Européen de la Céramique - 12, rue Atlantis - 87068 Limoges Cedex - France)
- IPAM - Institut des Procédés Appliqués aux Matériaux : UMR7315 (Centre Européen de la Céramique
12, rue Atlantis, parc d’Ester
87068 Limoges Cedex - France)
- UNILIM - Université de Limoges (33 rue François Mitterrand BP23204 87032 Limoges - France)
- INC - Institut de Chimie du CNRS : UMR7315 (3 Rue Michel-Ange 75 016 Paris - France)
- CNRS - Centre National de la Recherche Scientifique : UMR7315 (France)
3
XLIM-MINACOM - MINACOM (France)
- XLIM - XLIM (123 Avenue Albert THOMAS 87060 LIMOGES CEDEX - France)
- UNILIM - Université de Limoges (33 rue François Mitterrand BP23204 87032 Limoges - France)
- CNRS - Centre National de la Recherche Scientifique : UMR 7252 (France)
4
SPCTS - Science des Procédés Céramiques et de Traitements de Surface (SPCTS, Centre Européen de la Céramique, 12 Rue Atlantis, 87068 LIMOGES CEDEX - France)
- UNILIM - Université de Limoges : UMR7315 (33 rue François Mitterrand BP23204 87032 Limoges - France)
- ENSCI - Ecole Nationale Supérieure de Céramique Industrielle : UMR7315 (Centre Européen de la Céramique - 12, rue Atlantis - 87068 Limoges Cedex - France)
- IPAM - Institut des Procédés Appliqués aux Matériaux : UMR7315 (Centre Européen de la Céramique
12, rue Atlantis, parc d’Ester
87068 Limoges Cedex - France)
- UNILIM - Université de Limoges (33 rue François Mitterrand BP23204 87032 Limoges - France)
- INC - Institut de Chimie du CNRS : UMR7315 (3 Rue Michel-Ange 75 016 Paris - France)
- CNRS - Centre National de la Recherche Scientifique : UMR7315 (France)
Type de document :
Communication dans un congrès
Liste complète des métadonnées
https://hal-unilim.archives-ouvertes.fr/hal-00918319
Contributeur : Annie Bessaudou Connectez-vous pour contacter le contributeur
Soumis le : vendredi 13 décembre 2013 - 12:08:01
Dernière modification le : samedi 26 mars 2022 - 04:28:20
Contributeur : Annie Bessaudou Connectez-vous pour contacter le contributeur
Soumis le : vendredi 13 décembre 2013 - 12:08:01
Dernière modification le : samedi 26 mars 2022 - 04:28:20
Identifiants
- HAL Id : hal-00918319, version 1
Collections
UNILIM | CNRS | SPCTS | SPCTS-AXE2 | SPCTS-AXE3 | XLIM | IPAM | INC-CNRS | IRCER | IRCER-AXE2 | IRCER-AXE3 | IMPEO
Citation
Isabelle Jauberteau, Jean-Louis Jauberteau, Julie Cornette, Annie Bessaudou, Richard Mayet, et al.. An expanding microwave plasma to process thin metal films at low temperature. Institut für Oberflächen und Schichtanalytik, Kaiserslautern (Allemagne), Oct 2013, Kaiserslautern, Germany. ⟨hal-00918319⟩
Métriques
Consultations de la notice
