Miniature RF MEMS switched Capacitors using Nanogaps to achieve 50ns switching Speed Capabilities

Type de document :
Communication dans un congrès
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https://hal-unilim.archives-ouvertes.fr/hal-00933632
Contributeur : Arnaud Pothier <>
Soumis le : lundi 20 janvier 2014 - 17:45:26
Dernière modification le : jeudi 25 juillet 2019 - 16:34:15

Identifiants

  • HAL Id : hal-00933632, version 1

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Citation

Arnaud Pothier, Aurélie Verger, Cyril Guines, Aurelian Crunteanu, Pierre Blondy, et al.. Miniature RF MEMS switched Capacitors using Nanogaps to achieve 50ns switching Speed Capabilities. ESA Round Table on Micro and Nano Technology, Sep 2010, Noordwijk, Netherlands. ⟨hal-00933632⟩

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