Miniature RF MEMS switched Capacitors using Nanogaps to achieve 50ns switching Speed Capabilities

Arnaud Pothier; Aurélie Verger; Cyril Guines; Aurelian Crunteanu; Pierre Blondy; Jean-Christophe Orlianges; Jérémy Dhennin; Adrien Broué; Frédéric Courtade; Olivier Vendier

Communication dans un congrès

Miniature RF MEMS switched Capacitors using Nanogaps to achieve 50ns switching Speed Capabilities

Arnaud Pothier ¹ Aurélie Verger ¹ Cyril Guines ¹ Aurelian Crunteanu ¹ Pierre Blondy ¹ Jean-Christophe Orlianges ² Jérémy Dhennin ³ Adrien Broué ³ Frédéric Courtade ⁴ Olivier Vendier ⁵

1 MINACOM

XLIM - XLIM

2 Axe 2 : procédés de traitements de surface

SPCTS - Science des Procédés Céramiques et de Traitements de Surface

3 Fialab

4 CNES - Centre National d'Études Spatiales [Toulouse]

5 TAS - Thales Alenia Space [Toulouse]

Type de document :

Communication dans un congrès

Domaine :

Sciences de l'ingénieur [physics] / Micro et nanotechnologies/Microélectronique

Liste complète des métadonnées

https://hal-unilim.archives-ouvertes.fr/hal-00933632
Contributeur : Arnaud Pothier Connectez-vous pour contacter le contributeur
Soumis le : lundi 20 janvier 2014 - 17:45:26
Dernière modification le : lundi 4 avril 2022 - 16:16:04

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