Miniature RF MEMS switched Capacitors using Nanogaps to achieve 50ns switching Speed Capabilities

Arnaud Pothier; Aurélie Verger; Cyril Guines; Aurelian Crunteanu; Pierre Blondy; Jean-Christophe Orlianges; Jérémy Dhennin; Adrien Broué; Frédéric Courtade; Olivier Vendier

Miniature RF MEMS switched Capacitors using Nanogaps to achieve 50ns switching Speed Capabilities

Arnaud Pothier ¹ Aurélie Verger ¹ Cyril Guines ¹ Aurelian Crunteanu ¹ Pierre Blondy ¹ Jean-Christophe Orlianges ² Jérémy Dhennin ³ Adrien Broué ³ Frédéric Courtade ⁴ Olivier Vendier ⁵

1 MINACOM

XLIM - XLIM

2 Axe 2 : procédés de traitements de surface

SPCTS - Science des Procédés Céramiques et de Traitements de Surface

3 Fialab

4 CNES - Centre National d'Études Spatiales [Toulouse]

5 TAS - Thales Alenia Space

Type de document :

Communication dans un congrès

Domaine :

Sciences de l'ingénieur [physics] / Micro et nanotechnologies/Microélectronique

Liste complète des métadonnées

https://hal-unilim.archives-ouvertes.fr/hal-00933632
Contributeur : Arnaud Pothier <>
Soumis le : lundi 20 janvier 2014 - 17:45:26
Dernière modification le : jeudi 25 juillet 2019 - 16:34:15

Miniature RF MEMS switched Capacitors using Nanogaps to achieve 50ns switching Speed Capabilities

Identifiants

Collections

Citation

Exporter

Métriques

99

Miniature RF MEMS switched Capacitors using Nanogaps to achieve 50ns switching Speed Capabilities

Identifiants

Collections

Citation

Exporter

Partager

Métriques

99