Miniature RF MEMS switched Capacitors using Nanogaps to achieve 50ns switching Speed Capabilities - Archive ouverte HAL Accéder directement au contenu
Communication Dans Un Congrès Année :

Miniature RF MEMS switched Capacitors using Nanogaps to achieve 50ns switching Speed Capabilities

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Arnaud Pothier
MINACOM
CV
Aurélie Verger
  • Fonction : Auteur
  • PersonId : 919506
MINACOM
Cyril Guines
  • Fonction : Auteur
  • PersonId : 919493
MINACOM
Aurelian Crunteanu
MINACOM
Pierre Blondy
  • Fonction : Auteur
  • PersonId : 915831
MINACOM
Jean-Christophe Orlianges
Axe 2 : procédés de traitements de surface
CV
Jérémy Dhennin
  • Fonction : Auteur
Fialab
Adrien Broué
  • Fonction : Auteur
  • PersonId : 843727
Fialab
Frédéric Courtade
  • Fonction : Auteur
  • PersonId : 843543
Centre National d'Études Spatiales [Toulouse]
Olivier Vendier
  • Fonction : Auteur
Thales Alenia Space [Toulouse]

Domaines

Sciences de l'ingénieur [physics] Micro et nanotechnologies/Microélectronique

Arnaud Pothier  : Connectez-vous pour contacter le contributeur

https://hal-unilim.archives-ouvertes.fr/hal-00933632

Soumis le : lundi 20 janvier 2014-17:45:26

Dernière modification le : lundi 4 avril 2022-16:16:04

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00933632 , version 1 (20-01-2014)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00933632 , version 1

Citer

Arnaud Pothier, Aurélie Verger, Cyril Guines, Aurelian Crunteanu, Pierre Blondy, et al.. Miniature RF MEMS switched Capacitors using Nanogaps to achieve 50ns switching Speed Capabilities. ESA Round Table on Micro and Nano Technology, Sep 2010, Noordwijk, Netherlands. ⟨hal-00933632⟩

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