Conduction Modes in Si3N4 Capacitive RF-MEMS - Université de Limoges Accéder directement au contenu
Communication Dans Un Congrès Année : 2010

Conduction Modes in Si3N4 Capacitive RF-MEMS

Pierre Blondy
  • Fonction : Auteur
  • PersonId : 915831
MINACOM
David Mardivirin
  • Fonction : Auteur
  • PersonId : 919510
MINACOM
Stanis Courrèges
  • Fonction : Auteur
  • PersonId : 919469
MINACOM
Arnaud Pothier
MINACOM
CV
Aurelian Crunteanu
MINACOM
Fabio Coccetti
  • Fonction : Auteur
  • PersonId : 973570
Équipe MIcro et Nanosystèmes pour les Communications sans fil
Robert Plana
  • Fonction : Auteur
  • PersonId : 843541
Équipe MIcro et Nanosystèmes pour les Communications sans fil

Domaines

Micro et nanotechnologies/Microélectronique

Arnaud Pothier  : Connectez-vous pour contacter le contributeur

https://unilim.hal.science/hal-00933633

Soumis le : lundi 20 janvier 2014-17:48:33

Dernière modification le : lundi 20 novembre 2023-11:44:22

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00933633 , version 1 (20-01-2014)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00933633 , version 1

Citer

Pierre Blondy, David Mardivirin, Stanis Courrèges, Arnaud Pothier, Aurelian Crunteanu, et al.. Conduction Modes in Si3N4 Capacitive RF-MEMS. ESA Round Table on Micro and Nano Technology, Sep 2010, Noordwijk, Netherlands. ⟨hal-00933633⟩

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