Conduction Modes in Si3N4 Capacitive RF-MEMS

Pierre Blondy; David Mardivirin; Stanis Courrèges; Arnaud Pothier; Aurelian Crunteanu; Fabio Coccetti; Robert Plana

Communication dans un congrès

Conduction Modes in Si3N4 Capacitive RF-MEMS

Pierre Blondy ¹ David Mardivirin ¹ Stanis Courrèges ¹ Arnaud Pothier ¹ Aurelian Crunteanu ¹ Fabio Coccetti ² Robert Plana ²

1 MINACOM

XLIM - XLIM

2 LAAS-MINC - Équipe MIcro et Nanosystèmes pour les Communications sans fil

LAAS - Laboratoire d'analyse et d'architecture des systèmes

Type de document :

Communication dans un congrès

Domaine :

Sciences de l'ingénieur [physics] / Micro et nanotechnologies/Microélectronique

Liste complète des métadonnées

https://hal-unilim.archives-ouvertes.fr/hal-00933633
Contributeur : Arnaud Pothier Connectez-vous pour contacter le contributeur
Soumis le : lundi 20 janvier 2014 - 17:48:33
Dernière modification le : mardi 25 octobre 2022 - 11:58:11

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