Conduction Modes in Si3N4 Capacitive RF-MEMS

Type de document :
Communication dans un congrès
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Contributeur : Arnaud Pothier <>
Soumis le : lundi 20 janvier 2014 - 17:48:33
Dernière modification le : vendredi 14 juin 2019 - 18:31:01

Identifiants

  • HAL Id : hal-00933633, version 1

Citation

Pierre Blondy, David Mardivirin, Stanis Courrèges, Arnaud Pothier, Aurelian Crunteanu, et al.. Conduction Modes in Si3N4 Capacitive RF-MEMS. ESA Round Table on Micro and Nano Technology, Sep 2010, Noordwijk, Netherlands. ⟨hal-00933633⟩

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