Conduction Modes in Si3N4 Capacitive RF-MEMS

Pierre Blondy; David Mardivirin; Stanis Courrèges; Arnaud Pothier; Aurelian Crunteanu; Fabio Coccetti; Robert Plana

Accueil
Dépôt
Consultation
Recherche
Thèses

Conduction Modes in Si3N4 Capacitive RF-MEMS

Pierre Blondy ¹ David Mardivirin ¹ Stanis Courrèges ¹ Arnaud Pothier ¹ Aurelian Crunteanu ¹ Fabio Coccetti ² Robert Plana ²

1 MINACOM

XLIM - XLIM

2 LAAS-MINC - Équipe MIcro et Nanosystèmes pour les Communications sans fil

LAAS - Laboratoire d'analyse et d'architecture des systèmes

Pierre Blondy ¹ AuthorId : 669014

Auteur

David Mardivirin ¹ AuthorId : 686860

Auteur

Stanis Courrèges ¹ AuthorId : 686538

Auteur

Arnaud Pothier ¹ AuthorId : 1298176

Auteur IdHAL : arnaud-pothier

Aurelian Crunteanu ¹ AuthorId : 1126779

Auteur Etablissement employeur : Centre National de la Recherche Scientifique IdHAL : aurelian-crunteanu ResearcherId : http://www.researcherid.com/rid/J-9241-2012 ORCID : https://orcid.org/0000-0001-8648-5368

Fabio Coccetti ² AuthorId : 1256211

Auteur

Robert Plana ² AuthorId : 217310

Auteur

1 MINACOM (France) StructId : 388216

XLIM - XLIM (123 Avenue Albert THOMAS 87060 LIMOGES CEDEX - France) StructId : 12550
- UNILIM - Université de Limoges : UMR6172 (33 rue François Mitterrand BP23204 87032 Limoges - France) StructId : 5928
- CNRS - Centre National de la Recherche Scientifique : UMR6172 (France) StructId : 441569

2 LAAS-MINC - Équipe MIcro et Nanosystèmes pour les Communications sans fil (France) StructId : 389588

LAAS - Laboratoire d'analyse et d'architecture des systèmes (7 Av du colonel Roche 31077 TOULOUSE CEDEX 4 - France) StructId : 459
- Toulouse INP - Institut National Polytechnique (Toulouse) (France) StructId : 448187
  - Université Fédérale Toulouse Midi-Pyrénées (41 Allée Jules Guesde, 31000 Toulouse - France) StructId : 443875
- INSA Toulouse - Institut National des Sciences Appliquées - Toulouse (135, avenue de Rangueil - 31077 Toulouse cedex 4 - France) StructId : 116255
  - INSA - Institut National des Sciences Appliquées (France) StructId : 301232
- UPS - Université Toulouse III - Paul Sabatier (118 route de Narbonne - 31062 Toulouse - France) StructId : 217752
  - Université Fédérale Toulouse Midi-Pyrénées (41 Allée Jules Guesde, 31000 Toulouse - France) StructId : 443875
- CNRS - Centre National de la Recherche Scientifique : UPR8001 (France) StructId : 441569
- UT1 - Université Toulouse 1 Capitole (2 rue du Doyen-Gabriel-Marty - 31042 Toulouse Cedex 9 - France) StructId : 81148
- UT2J - Université Toulouse - Jean Jaurès (5 allées Antonio Machado - 31058 Toulouse Cedex 9 - France) StructId : 116256

Type de document :

Communication dans un congrès

Domaine :

Sciences de l'ingénieur [physics] / Micro et nanotechnologies/Microélectronique

Liste complète des métadonnées

https://hal-unilim.archives-ouvertes.fr/hal-00933633
Contributeur : Arnaud Pothier <>
Soumis le : lundi 20 janvier 2014 - 17:48:33
Dernière modification le : mardi 12 novembre 2019 - 14:06:03

Identifiants

HAL Id : hal-00933633, version 1

Collections

Citation

Pierre Blondy, David Mardivirin, Stanis Courrèges, Arnaud Pothier, Aurelian Crunteanu, et al.. Conduction Modes in Si3N4 Capacitive RF-MEMS. ESA Round Table on Micro and Nano Technology, Sep 2010, Noordwijk, Netherlands. ⟨hal-00933633⟩

Conduction Modes in Si3N4 Capacitive RF-MEMS

Identifiants

Collections

Citation

Exporter

Métriques

165

Conduction Modes in Si3N4 Capacitive RF-MEMS

Identifiants

Collections

Citation

Exporter

Partager

Métriques

165