Conduction Modes in Si3N4 Capacitive RF-MEMS

Pierre Blondy 1 David Mardivirin 1 Stanis Courrèges 1 Arnaud Pothier 1 Aurelian Crunteanu 1 Fabio Coccetti 2 Robert Plana 2
1 MINACOM
XLIM - XLIM
2 LAAS-MINC - Équipe MIcro et Nanosystèmes pour les Communications sans fil
LAAS - Laboratoire d'analyse et d'architecture des systèmes [Toulouse]
Type de document :
Communication dans un congrès
Liste complète des métadonnées
https://hal-unilim.archives-ouvertes.fr/hal-00933633
Contributeur : Arnaud Pothier <>
Soumis le : lundi 20 janvier 2014 - 17:48:33
Dernière modification le : vendredi 14 juin 2019 - 18:31:01

Identifiants

  • HAL Id : hal-00933633, version 1

Collections

XLIM | UNILIM | INSA-TOULOUSE | LAAS | LAAS-MINC | LAAS-HYPERFREQUENCES-ET-OPTIQUE | INSA-GROUPE | UNIV-TLSE3

Citation

Pierre Blondy, David Mardivirin, Stanis Courrèges, Arnaud Pothier, Aurelian Crunteanu, et al.. Conduction Modes in Si3N4 Capacitive RF-MEMS. ESA Round Table on Micro and Nano Technology, Sep 2010, Noordwijk, Netherlands. ⟨hal-00933633⟩

Exporter

BibTeX TEI DC DCterms EndNote

Partager

Métriques

Consultations de la notice

163

Université de Limoges
33 rue François Mitterrand
BP 23204
87032 Limoges - France
Tél. +33 (5) 05 55 14 91 00
université ouverte
source de réussites

Contact : svp-scd@unilim.fr

CONTACT

CCSD