Conduction Modes in Si3N4 Capacitive RF-MEMS - Université de Limoges Accéder directement au contenu
Communication Dans Un Congrès Année :

Conduction Modes in Si3N4 Capacitive RF-MEMS

Pierre Blondy
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David Mardivirin
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MINACOM
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MINACOM
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Équipe MIcro et Nanosystèmes pour les Communications sans fil

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Micro et nanotechnologies/Microélectronique

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Soumis le : lundi 20 janvier 2014-17:48:33

Dernière modification le : lundi 17 avril 2023-18:32:11

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00933633 , version 1 (20-01-2014)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00933633 , version 1

Citer

Pierre Blondy, David Mardivirin, Stanis Courrèges, Arnaud Pothier, Aurelian Crunteanu, et al.. Conduction Modes in Si3N4 Capacitive RF-MEMS. ESA Round Table on Micro and Nano Technology, Sep 2010, Noordwijk, Netherlands. ⟨hal-00933633⟩

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