Depositon of nanometric SiOxHyCz films at different substrate temperatures by an atmospheric pressure microwave plasma torch (TIA) : first steps towards self-assembled 3-dimensional nano-sensors

Xavier Landreau; B. Lanfant; Thérèse Merle-Méjean; G. Bouscarrat; Z. Bouchkour; Christelle Dublanche-Tixier; Cédric Jaoul; Pascal Tristant

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Depositon of nanometric SiOxHyCz films at different substrate temperatures by an atmospheric pressure microwave plasma torch (TIA) : first steps towards self-assembled 3-dimensional nano-sensors

Xavier Landreau B. Lanfant Thérèse Merle-Méjean ¹ G. Bouscarrat Z. Bouchkour ² Christelle Dublanche-Tixier ³ Cédric Jaoul ³ Pascal Tristant ³

1 SPCTS-AXE3 - Axe 3 : organisation structurale multiéchelle des matériaux

SPCTS - Science des Procédés Céramiques et de Traitements de Surface

2 SPCTS - Science des Procédés Céramiques et de Traitements de Surface

3 Axe 2 : procédés de traitements de surface

SPCTS - Science des Procédés Céramiques et de Traitements de Surface

Xavier Landreau
Auteur
PersonId : 929182

B. Lanfant
Auteur

Thérèse Merle-Méjean ¹
Auteur
PersonId : 915588

G. Bouscarrat
Auteur

Z. Bouchkour ²
Auteur

Christelle Dublanche-Tixier ³
Auteur
PersonId : 182777
IdHAL : christelle-dublanche-tixierIdRef : 133645541

Cédric Jaoul ³
Auteur
PersonId : 1984
IdHAL : cedric-jaoulIdRef : 086066048

Pascal Tristant ³
Auteur
PersonId : 16129
IdHAL : pascal-tristantIdRef : 077620437

1 SPCTS-AXE3 - Axe 3 : organisation structurale multiéchelle des matériaux (France) StructId : 389672

SPCTS - Science des Procédés Céramiques et de Traitements de Surface (SPCTS, Centre Européen de la Céramique, 12 Rue Atlantis, 87068 LIMOGES CEDEX - France) StructId : 179082
- UNILIM - Université de Limoges : UMR7315 (33 rue François Mitterrand BP23204 87032 Limoges - France) StructId : 5928
- ENSCI - Ecole Nationale Supérieure de Céramique Industrielle : UMR7315 (Centre Européen de la Céramique - 12, rue Atlantis - 87068 Limoges Cedex - France) StructId : 300398
- IPAM - Institut des Procédés Appliqués aux Matériaux : UMR7315 (Centre Européen de la Céramique 12, rue Atlantis, parc d’Ester 87068 Limoges Cedex - France) StructId : 301999
  - UNILIM - Université de Limoges (33 rue François Mitterrand BP23204 87032 Limoges - France) StructId : 5928
- INC - Institut de Chimie du CNRS : UMR7315 (3 Rue Michel-Ange 75 016 Paris - France) StructId : 341038
- CNRS - Centre National de la Recherche Scientifique : UMR7315 (France) StructId : 441569

2 SPCTS - Science des Procédés Céramiques et de Traitements de Surface (SPCTS, Centre Européen de la Céramique, 12 Rue Atlantis, 87068 LIMOGES CEDEX - France) StructId : 179082

UNILIM - Université de Limoges : UMR7315 (33 rue François Mitterrand BP23204 87032 Limoges - France) StructId : 5928
ENSCI - Ecole Nationale Supérieure de Céramique Industrielle : UMR7315 (Centre Européen de la Céramique - 12, rue Atlantis - 87068 Limoges Cedex - France) StructId : 300398
IPAM - Institut des Procédés Appliqués aux Matériaux : UMR7315 (Centre Européen de la Céramique 12, rue Atlantis, parc d’Ester 87068 Limoges Cedex - France) StructId : 301999
- UNILIM - Université de Limoges (33 rue François Mitterrand BP23204 87032 Limoges - France) StructId : 5928
INC - Institut de Chimie du CNRS : UMR7315 (3 Rue Michel-Ange 75 016 Paris - France) StructId : 341038
CNRS - Centre National de la Recherche Scientifique : UMR7315 (France) StructId : 441569

3 Axe 2 : procédés de traitements de surface (France) StructId : 400912

SPCTS - Science des Procédés Céramiques et de Traitements de Surface (SPCTS, Centre Européen de la Céramique, 12 Rue Atlantis, 87068 LIMOGES CEDEX - France) StructId : 10314
- UNILIM - Université de Limoges : UMR6638 (33 rue François Mitterrand BP23204 87032 Limoges - France) StructId : 5928
- ENSCI - Ecole Nationale Supérieure de Céramique Industrielle : UMR6638 (Centre Européen de la Céramique - 12, rue Atlantis - 87068 Limoges Cedex - France) StructId : 300398
- IPAM - Institut des Procédés Appliqués aux Matériaux : UMR6638 (Centre Européen de la Céramique 12, rue Atlantis, parc d’Ester 87068 Limoges Cedex - France) StructId : 301999
  - UNILIM - Université de Limoges (33 rue François Mitterrand BP23204 87032 Limoges - France) StructId : 5928
- INC - Institut de Chimie du CNRS : UMR6638 (3 Rue Michel-Ange 75 016 Paris - France) StructId : 341038
- CNRS - Centre National de la Recherche Scientifique : UMR6638 (France) StructId : 441569

Type de document :

Communication dans un congrès

Domaine :

Chimie / Matériaux

Liste complète des métadonnées

https://hal-unilim.archives-ouvertes.fr/hal-00944747
Contributeur : Pamela Bathias Connectez-vous pour contacter le contributeur
Soumis le : mardi 11 février 2014 - 10:18:21
Dernière modification le : samedi 26 mars 2022 - 04:28:19

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HAL Id : hal-00944747, version 1

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Xavier Landreau, B. Lanfant, Thérèse Merle-Méjean, G. Bouscarrat, Z. Bouchkour, et al.. Depositon of nanometric SiOxHyCz films at different substrate temperatures by an atmospheric pressure microwave plasma torch (TIA) : first steps towards self-assembled 3-dimensional nano-sensors. 19th Annual International Conference on Composites or Nano-Engeneering (ICCE-19), Jul 2011, Shanghaï, China. pp.747. ⟨hal-00944747⟩

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