Morphological and optical properties of AIN nano-islands prepared by plasma enhanced chemical vapor deposition

Type de document :
Communication dans un congrès
Domaine :
Liste complète des métadonnées

https://hal-unilim.archives-ouvertes.fr/hal-00949362
Contributeur : Pamela Bathias <>
Soumis le : mercredi 19 février 2014 - 15:24:08
Dernière modification le : mercredi 14 février 2018 - 16:29:43

Identifiants

  • HAL Id : hal-00949362, version 1

Citation

Z. Bouchkour, Jean-Christophe Orlianges, Christelle Dublanche-Tixier, Elsa Thune, Etienne Laborde, et al.. Morphological and optical properties of AIN nano-islands prepared by plasma enhanced chemical vapor deposition. 40th International Conference on Metallurgical Coatings and Thin films (ICMCTF), Apr 2013, San Diego, United States. ⟨hal-00949362⟩

Partager

Métriques

Consultations de la notice

96