Morphological and optical properties of AIN nano-islands prepared by plasma enhanced chemical vapor deposition

Z. Bouchkour 1 Jean-Christophe Orlianges 2 Christelle Dublanche-Tixier 2 Elsa Thune 3 Etienne Laborde 1 Cédric Jaoul 2 René Guinebretière 3 Pascal Tristant 2
1 SPCTS - Science des Procédés Céramiques et de Traitements de Surface
2 Axe 2 : procédés de traitements de surface
SPCTS - Science des Procédés Céramiques et de Traitements de Surface
3 SPCTS-AXE3 - Axe 3 : organisation structurale multiéchelle des matériaux
SPCTS - Science des Procédés Céramiques et de Traitements de Surface
Type de document :
Communication dans un congrès
Domaine :
Liste complète des métadonnées
https://hal-unilim.archives-ouvertes.fr/hal-00949362
Contributeur : Pamela Bathias <>
Soumis le : mercredi 19 février 2014 - 15:24:08
Dernière modification le : mercredi 14 février 2018 - 16:29:43

Identifiants

  • HAL Id : hal-00949362, version 1

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Citation

Z. Bouchkour, Jean-Christophe Orlianges, Christelle Dublanche-Tixier, Elsa Thune, Etienne Laborde, et al.. Morphological and optical properties of AIN nano-islands prepared by plasma enhanced chemical vapor deposition. 40th International Conference on Metallurgical Coatings and Thin films (ICMCTF), Apr 2013, San Diego, United States. ⟨hal-00949362⟩

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