Physical vapor partial filtering for chemical composition control in hybrid PECVD/EB-PVD process - Archive ouverte HAL Accéder directement au contenu
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Physical vapor partial filtering for chemical composition control in hybrid PECVD/EB-PVD process

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https://hal-unilim.archives-ouvertes.fr/hal-00949365

Soumis le : mercredi 19 février 2014-15:26:55

Dernière modification le : samedi 26 mars 2022-04:27:45

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00949365 , version 1 (19-02-2014)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00949365 , version 1

Citer

Cédric Jaoul, Frédéric Meunier, Pascal Tristant, J.P. Lavoute, Etienne Laborde, et al.. Physical vapor partial filtering for chemical composition control in hybrid PECVD/EB-PVD process. 40th International Conference on Metallurgical Coatings and Thin films (ICMCTF), Apr 2013, San Diego, United States. ⟨hal-00949365⟩

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