Physical vapor partial filtering for chemical composition control in hybrid PECVD/EB-PVD process

Cédric Jaoul; Frédéric Meunier; Pascal Tristant; J.P. Lavoute; Etienne Laborde; Christelle Dublanche-Tixier

Communication dans un congrès

Physical vapor partial filtering for chemical composition control in hybrid PECVD/EB-PVD process

Cédric Jaoul ¹ Frédéric Meunier Pascal Tristant ¹ J.P. Lavoute ² Etienne Laborde ² Christelle Dublanche-Tixier ¹

1 Axe 2 : procédés de traitements de surface

SPCTS - Science des Procédés Céramiques et de Traitements de Surface

2 SPCTS - Science des Procédés Céramiques et de Traitements de Surface

Type de document :

Communication dans un congrès

Domaine :

Chimie / Matériaux

Liste complète des métadonnées

https://hal-unilim.archives-ouvertes.fr/hal-00949365
Contributeur : Pamela Bathias Connectez-vous pour contacter le contributeur
Soumis le : mercredi 19 février 2014 - 15:26:55
Dernière modification le : samedi 26 mars 2022 - 04:27:45

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