Mise en œuvre du procédé de dépôt chimique en phase vapeur pour la synthèse de couches minces d'oxyde de titane par torche plasma-micro-onde (TIA) à la pression atmosphérique - Université de Limoges Accéder directement au contenu
Communication Dans Un Congrès Année : 2013

Mise en œuvre du procédé de dépôt chimique en phase vapeur pour la synthèse de couches minces d'oxyde de titane par torche plasma-micro-onde (TIA) à la pression atmosphérique

Domaines

Matériaux
Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00949370 , version 1 (19-02-2014)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00949370 , version 1

Citer

Y. Gazal, Christelle Dublanche-Tixier, Christophe Chazelas, Pascal Tristant. Mise en œuvre du procédé de dépôt chimique en phase vapeur pour la synthèse de couches minces d'oxyde de titane par torche plasma-micro-onde (TIA) à la pression atmosphérique. 3ème Colloque Francophone Pluridisciplinaire sur les Matériaux, l'Environnement et l'Electronique (PLUMEE), May 2013, Bacau, Romania. ⟨hal-00949370⟩
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