Functionalisation of self-organized networked SiOxHyCz nano-islands deposited by atmospheric pressure microwave plasma torch on Au/Si(100) substrates patterned by nano-indentation - Université de Limoges Accéder directement au contenu
Communication Dans Un Congrès Année : 2012

Functionalisation of self-organized networked SiOxHyCz nano-islands deposited by atmospheric pressure microwave plasma torch on Au/Si(100) substrates patterned by nano-indentation

Xavier Landreau
  • Fonction : Auteur
  • PersonId : 929182
Axe 2 : procédés de traitements de surface
B. Boens
  • Fonction : Auteur
B. Lanfant
  • Fonction : Auteur
Thérèse Merle-Méjean
  • Fonction : Auteur
  • PersonId : 915588
Axe 3 : organisation structurale multiéchelle des matériaux
G. Bouscarrat
  • Fonction : Auteur
Christelle Dublanche-Tixier
Axe 2 : procédés de traitements de surface
R. Zerrouki
Pascal Tristant
Axe 2 : procédés de traitements de surface

Domaines

Matériaux

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https://unilim.hal.science/hal-00952029

Soumis le : mercredi 26 février 2014-10:11:28

Dernière modification le : jeudi 11 avril 2024-13:08:14

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00952029 , version 1 (26-02-2014)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00952029 , version 1

Citer

Xavier Landreau, B. Boens, B. Lanfant, Thérèse Merle-Méjean, G. Bouscarrat, et al.. Functionalisation of self-organized networked SiOxHyCz nano-islands deposited by atmospheric pressure microwave plasma torch on Au/Si(100) substrates patterned by nano-indentation. TechConnect World 2012, Jul 2012, Santa Clara, United States. ⟨hal-00952029⟩

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