Effect of low RF bias potential on AlN films obtained by microwave plasma enhanced chemical vapor deposition

Gustavo Sanchez; Pascal Tristant; Christelle Dublanche-Tixier; Florent Tetard; A. Bologna

doi:10.1016/j.surfcoat.2013.10.

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Effect of low RF bias potential on AlN films obtained by microwave plasma enhanced chemical vapor deposition

Gustavo Sanchez ¹ Pascal Tristant ² Christelle Dublanche-Tixier ³ Florent Tetard ⁴ A. Bologna ⁵

1 Departamento de Ingeniera de Materiales

UDELAR - UDELAR, Facultad de Ingenieria [Montevideo]

2 Axe 2 : procédés de traitements de surface

SPCTS - Science des Procédés Céramiques et de Traitements de Surface

3 SPCTS - Science des Procédés Céramiques et de Traitements de Surface

4 FINANO

LSPM - Laboratoire des Sciences des Procédés et des Matériaux

5 Departamento de Ingenieria de Materiales

UDELAR - UDELAR, Facultad de Ingenieria [Montevideo]

Gustavo Sanchez ¹ AuthorId : 311722

Auteur

Pascal Tristant ² AuthorId : 726929

Auteur IdHAL : pascal-tristant

Christelle Dublanche-Tixier ³ AuthorId : 754187

Auteur

Florent Tetard ⁴ AuthorId : 1017924

Auteur IdHAL : florent-tetard ResearcherId : http://www.researcherid.com/rid/B-9004-2014 ORCID : https://orcid.org/0000-0001-6095-8892

A. Bologna ⁵ AuthorId : 1017925

Auteur

1 Departamento de Ingeniera de Materiales (Uruguay) StructId : 405084

UDELAR - UDELAR, Facultad de Ingenieria [Montevideo] (Universidad de la Republica Av. 18 de Julio 1968 - Teléfono (598) 2400 9201 - Montevideo - Uruguay) StructId : 94039
- UCUR - Universidad de la República [Montevideo] (Uruguay) StructId : 471945

2 Axe 2 : procédés de traitements de surface (France) StructId : 400912

SPCTS - Science des Procédés Céramiques et de Traitements de Surface (SPCTS, Centre Européen de la Céramique, 12 Rue Atlantis, 87068 LIMOGES CEDEX - France) StructId : 10314
- UNILIM - Université de Limoges : UMR6638 (33 rue François Mitterrand BP23204 87032 Limoges - France) StructId : 5928
- ENSCI - Ecole Nationale Supérieure de Céramique Industrielle : UMR6638 (Centre Européen de la Céramique - 12, rue Atlantis - 87068 Limoges Cedex - France) StructId : 300398
- IPAM - Institut des Procédés Appliqués aux Matériaux : UMR6638 (Centre Européen de la Céramique 12, rue Atlantis, parc d’Ester 87068 Limoges Cedex - France) StructId : 301999
  - UNILIM - Université de Limoges (33 rue François Mitterrand BP23204 87032 Limoges - France) StructId : 5928
- INC - Institut de Chimie du CNRS : UMR6638 (3 Rue Michel-Ange 75 016 Paris - France) StructId : 341038
- CNRS - Centre National de la Recherche Scientifique : UMR6638 (France) StructId : 441569

3 SPCTS - Science des Procédés Céramiques et de Traitements de Surface (SPCTS, Centre Européen de la Céramique, 12 Rue Atlantis, 87068 LIMOGES CEDEX - France) StructId : 179082

UNILIM - Université de Limoges : UMR7315 (33 rue François Mitterrand BP23204 87032 Limoges - France) StructId : 5928
ENSCI - Ecole Nationale Supérieure de Céramique Industrielle : UMR7315 (Centre Européen de la Céramique - 12, rue Atlantis - 87068 Limoges Cedex - France) StructId : 300398
IPAM - Institut des Procédés Appliqués aux Matériaux : UMR7315 (Centre Européen de la Céramique 12, rue Atlantis, parc d’Ester 87068 Limoges Cedex - France) StructId : 301999
- UNILIM - Université de Limoges (33 rue François Mitterrand BP23204 87032 Limoges - France) StructId : 5928
INC - Institut de Chimie du CNRS : UMR7315 (3 Rue Michel-Ange 75 016 Paris - France) StructId : 341038
CNRS - Centre National de la Recherche Scientifique : UMR7315 (France) StructId : 441569

4 FINANO (France) StructId : 405085

LSPM - Laboratoire des Sciences des Procédés et des Matériaux (Institut Galilée, Université Paris 13, 99 avenue Jean-baptiste Clément, F-93430 Villetaneuse - France) StructId : 233425
- UP13 - Université Paris 13 (France) StructId : 15786
- Institut Galilée (France) StructId : 301340
- USPC - Université Sorbonne Paris Cité (Université Sorbonne Paris Cité | 100-104, avenue de France | 75013 Paris - France) StructId : 303171
- CNRS - Centre National de la Recherche Scientifique : UPR3407 (France) StructId : 441569

5 Departamento de Ingenieria de Materiales (Uruguay) StructId : 405086

UDELAR - UDELAR, Facultad de Ingenieria [Montevideo] (Universidad de la Republica Av. 18 de Julio 1968 - Teléfono (598) 2400 9201 - Montevideo - Uruguay) StructId : 94039
- UCUR - Universidad de la República [Montevideo] (Uruguay) StructId : 471945

Type de document :

Article dans une revue

Domaine :

Chimie / Matériaux

Liste complète des métadonnées

https://hal-unilim.archives-ouvertes.fr/hal-00985449
Contributeur : Christelle Dublanche Tixier <>
Soumis le : mardi 29 avril 2014 - 16:55:32
Dernière modification le : samedi 15 février 2020 - 01:46:38

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HAL Id : hal-00985449, version 1
DOI : 10.1016/j.surfcoat.2013.10.

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Gustavo Sanchez, Pascal Tristant, Christelle Dublanche-Tixier, Florent Tetard, A. Bologna. Effect of low RF bias potential on AlN films obtained by microwave plasma enhanced chemical vapor deposition. Surface and Coatings Technology, Elsevier, 2013, pp.SCT-18981. ⟨10.1016/j.surfcoat.2013.10.⟩. ⟨hal-00985449⟩

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