Caractéristiques électriques de dispositifs MIM intégrant un film mince de dioxyde de vanadium

Amine Mennai (1) , Annie Bessaudou (1) , Françoise Cosset (1) , Aurelian Crunteanu (1)

1 XLIM-MINACOM - MINACOM

Nous présentons les caractéristiques structurales, électriques et optiques de couches minces d'un matériau présentant une transition isolant - métal à savoir le dioxyde de vanadium. Nous présentons également la fabrication d'un dispositif à deux terminaux (2T) en configuration MIM à base de VO2 ainsi que sa caractéristique courant tension (I-V) en mode tension et en mode courant.

Domaines: Sciences de l'ingénieur [physics]

Amine Mennai, Annie Bessaudou, Françoise Cosset, Aurelian Crunteanu. Caractéristiques électriques de dispositifs MIM intégrant un film mince de dioxyde de vanadium. JNRDM 2014. Journées Nationales du Réseau Doctoral en Micro-nanoélectronique, May 2014, Lille, France. 4 p. ⟨hal-01021997⟩