An All-Metal RF-MEMS Switch With Large Displacement and Reduced Mechanical Creep

Achref yahiaoui; Arnaud Pothier; Pierre Blondy

Communication dans un congrès

An All-Metal RF-MEMS Switch With Large Displacement and Reduced Mechanical Creep

Achref yahiaoui ¹ Arnaud Pothier ² Pierre Blondy ¹

1 XLIM-MINACOM - MINACOM

XLIM - XLIM

2 XLIM - XLIM

Type de document :

Communication dans un congrès

Domaine :

Sciences de l'ingénieur [physics] / Micro et nanotechnologies/Microélectronique

Liste complète des métadonnées

https://hal-unilim.archives-ouvertes.fr/hal-01025006
Contributeur : Arnaud Pothier Connectez-vous pour contacter le contributeur
Soumis le : jeudi 17 juillet 2014 - 08:24:58
Dernière modification le : mercredi 22 décembre 2021 - 11:58:04

An All-Metal RF-MEMS Switch With Large Displacement and Reduced Mechanical Creep

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