A 767 MHz Thin-Film Piezoelectric-On-Substrate Micro-resonator

Type de document :
Communication dans un congrès
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Contributeur : Matthieu Chatras <>
Soumis le : lundi 1 décembre 2014 - 10:47:25
Dernière modification le : mercredi 14 février 2018 - 16:29:30

Identifiants

  • HAL Id : hal-01089107, version 1

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Oussama Mortada, Pierre Blondy, Matthieu Chatras, Aurelian Crunteanu, Michel Aubourg, et al.. A 767 MHz Thin-Film Piezoelectric-On-Substrate Micro-resonator. MEMSWAVE, Jun 2014, La Rochelle, France. ⟨hal-01089107⟩

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