A Zinc Dioxide -on- Silicon MEMS Resonator for Narrowband Filtering

Type de document :
Communication dans un congrès
Liste complète des métadonnées

https://hal-unilim.archives-ouvertes.fr/hal-01138356
Contributeur : Matthieu Chatras <>
Soumis le : mercredi 1 avril 2015 - 18:13:53
Dernière modification le : mercredi 14 février 2018 - 16:29:43

Identifiants

  • HAL Id : hal-01138356, version 1

Collections

Citation

Oussama Mortada, Pierre Blondy, Matthieu Chatras, Aurelian Crunteanu, Michel Aubourg, et al.. A Zinc Dioxide -on- Silicon MEMS Resonator for Narrowband Filtering. IEEE ICECS, Dec 2014, Marseille, France. ⟨hal-01138356⟩

Partager

Métriques

Consultations de la notice

127