A Zinc Dioxide -on- Silicon MEMS Resonator for Narrowband Filtering - Archive ouverte HAL Accéder directement au contenu
Communication Dans Un Congrès Année :

A Zinc Dioxide -on- Silicon MEMS Resonator for Narrowband Filtering

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Oussama Mortada
  • Fonction : Auteur
Pierre Blondy
  • Fonction : Auteur
  • PersonId : 915831
Matthieu Chatras
Aurelian Crunteanu
Michel Aubourg
  • Fonction : Auteur
  • PersonId : 915586
Fichier non déposé

Dates et versions

hal-01138356 , version 1 (01-04-2015)

Identifiants

  • HAL Id : hal-01138356 , version 1

Citer

Oussama Mortada, Pierre Blondy, Matthieu Chatras, Aurelian Crunteanu, Michel Aubourg, et al.. A Zinc Dioxide -on- Silicon MEMS Resonator for Narrowband Filtering. IEEE ICECS, Dec 2014, Marseille, France. ⟨hal-01138356⟩
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