A Zinc Dioxide -on- Silicon MEMS Resonator for Narrowband Filtering

Oussama Mortada Pierre Blondy 1 Matthieu Chatras 1 Aurelian Crunteanu 1 Michel Aubourg 1 Jean-Christophe Orlianges 2
1 XLIM-MINACOM - MINACOM
XLIM - XLIM
2 Axe 2 : procédés de traitements de surface
SPCTS - Science des Procédés Céramiques et de Traitements de Surface
Type de document :
Communication dans un congrès
Liste complète des métadonnées
https://hal-unilim.archives-ouvertes.fr/hal-01138356
Contributeur : Matthieu Chatras <>
Soumis le : mercredi 1 avril 2015 - 18:13:53
Dernière modification le : mercredi 14 février 2018 - 16:29:43

Identifiants

  • HAL Id : hal-01138356, version 1

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Citation

Oussama Mortada, Pierre Blondy, Matthieu Chatras, Aurelian Crunteanu, Michel Aubourg, et al.. A Zinc Dioxide -on- Silicon MEMS Resonator for Narrowband Filtering. IEEE ICECS, Dec 2014, Marseille, France. ⟨hal-01138356⟩

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