A Zinc Dioxide -on- Silicon MEMS Resonator for Narrowband Filtering - Archive ouverte HAL Accéder directement au contenu
Communication Dans Un Congrès Année :

A Zinc Dioxide -on- Silicon MEMS Resonator for Narrowband Filtering

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Oussama Mortada
  • Fonction : Auteur
Pierre Blondy
  • Fonction : Auteur
  • PersonId : 915831
MINACOM
Matthieu Chatras
MINACOM
Aurelian Crunteanu
MINACOM
Michel Aubourg
  • Fonction : Auteur
  • PersonId : 915586
MINACOM
Jean-Christophe Orlianges
Axe 2 : procédés de traitements de surface
CV

Domaines

Sciences de l'ingénieur [physics] Electronique

Matthieu Chatras  : Connectez-vous pour contacter le contributeur

https://hal-unilim.archives-ouvertes.fr/hal-01138356

Soumis le : mercredi 1 avril 2015-18:13:53

Dernière modification le : mardi 7 février 2023-14:44:52

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-01138356 , version 1 (01-04-2015)

Identifiants

  • HAL Id : hal-01138356 , version 1

Citer

Oussama Mortada, Pierre Blondy, Matthieu Chatras, Aurelian Crunteanu, Michel Aubourg, et al.. A Zinc Dioxide -on- Silicon MEMS Resonator for Narrowband Filtering. IEEE ICECS, Dec 2014, Marseille, France. ⟨hal-01138356⟩

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