A Zinc Dioxide -on- Silicon MEMS Resonator for Narrowband Filtering

Type de document :
Communication dans un congrès
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https://hal-unilim.archives-ouvertes.fr/hal-01138356
Contributeur : Matthieu Chatras <>
Soumis le : mercredi 1 avril 2015 - 18:13:53
Dernière modification le : mardi 12 novembre 2019 - 14:06:03

Identifiants

  • HAL Id : hal-01138356, version 1

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Oussama Mortada, Pierre Blondy, Matthieu Chatras, Aurelian Crunteanu, Michel Aubourg, et al.. A Zinc Dioxide -on- Silicon MEMS Resonator for Narrowband Filtering. IEEE ICECS, Dec 2014, Marseille, France. ⟨hal-01138356⟩

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