A Zinc Dioxide -on- Silicon MEMS Resonator for Narrowband Filtering

Oussama Mortada; Pierre Blondy; Matthieu Chatras; Aurelian Crunteanu; Michel Aubourg; Jean-Christophe Orlianges

Communication dans un congrès

A Zinc Dioxide -on- Silicon MEMS Resonator for Narrowband Filtering

Oussama Mortada Pierre Blondy ¹ Matthieu Chatras ¹ Aurelian Crunteanu ¹ Michel Aubourg ¹ Jean-Christophe Orlianges ²

1 XLIM-MINACOM - MINACOM

XLIM - XLIM

2 Axe 2 : procédés de traitements de surface

SPCTS - Science des Procédés Céramiques et de Traitements de Surface

Type de document :

Communication dans un congrès

Domaine :

Sciences de l'ingénieur [physics] / Electronique

Liste complète des métadonnées

https://hal-unilim.archives-ouvertes.fr/hal-01138356
Contributeur : Matthieu Chatras Connectez-vous pour contacter le contributeur
Soumis le : mercredi 1 avril 2015 - 18:13:53
Dernière modification le : samedi 26 mars 2022 - 04:27:49

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