Performances de micro-résonateurs acoustiques intégrant des couches piézoélectriques de ZnO sur des électrodes de molybdène et de platine

Oussama Mortada 1 Jean-Christophe Orlianges 2 Aurelian Crunteanu 1 Matthieu Chatras 1 Pierre Blondy 1
2 Axe 2 : procédés de traitements de surface
SPCTS - Science des Procédés Céramiques et de Traitements de Surface
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Poster
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Contributeur : Matthieu Chatras <>
Soumis le : mardi 6 octobre 2015 - 13:40:49
Dernière modification le : mercredi 14 février 2018 - 16:29:42

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  • HAL Id : hal-01212262, version 1

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Oussama Mortada, Jean-Christophe Orlianges, Aurelian Crunteanu, Matthieu Chatras, Pierre Blondy. Performances de micro-résonateurs acoustiques intégrant des couches piézoélectriques de ZnO sur des électrodes de molybdène et de platine. GDR Ondes, Oct 2015, Lyon, France. ⟨hal-01212262⟩

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