Performances de micro-résonateurs acoustiques intégrant des couches piézoélectriques de ZnO sur des électrodes de molybdène et de platine - Archive ouverte HAL Accéder directement au contenu
Poster De Conférence Année :

Performances de micro-résonateurs acoustiques intégrant des couches piézoélectriques de ZnO sur des électrodes de molybdène et de platine

Oussama Mortada
  • Fonction : Auteur
MINACOM
Jean-Christophe Orlianges
Axe 2 : procédés de traitements de surface
CV
Aurelian Crunteanu
MINACOM
Matthieu Chatras
MINACOM
Pierre Blondy
  • Fonction : Auteur
  • PersonId : 915831
MINACOM

Domaines

Sciences de l'ingénieur [physics] Electronique

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https://hal-unilim.archives-ouvertes.fr/hal-01212262

Soumis le : mardi 6 octobre 2015-13:40:49

Dernière modification le : vendredi 24 mars 2023-14:53:01

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-01212262 , version 1 (06-10-2015)

Identifiants

  • HAL Id : hal-01212262 , version 1

Citer

Oussama Mortada, Jean-Christophe Orlianges, Aurelian Crunteanu, Matthieu Chatras, Pierre Blondy. Performances de micro-résonateurs acoustiques intégrant des couches piézoélectriques de ZnO sur des électrodes de molybdène et de platine. GDR Ondes, Oct 2015, Lyon, France. ⟨hal-01212262⟩

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