Simple Creep Parameters Extraction in Metal Contact RF-MEMS Switches

Emilien Lemoine; Arnaud Pothier; Aurelian Crunteanu; Pierre Blondy; Laurent Marchand; Nicolas Saillen

doi:10.1109/MWSYM.2015.7167008

Communication dans un congrès

Simple Creep Parameters Extraction in Metal Contact RF-MEMS Switches

Emilien Lemoine ¹ Arnaud Pothier ¹ Aurelian Crunteanu ¹ Pierre Blondy ¹ Laurent Marchand ² Nicolas Saillen ²

1 XLIM-MINACOM - MINACOM

XLIM - XLIM

2 European Space Agency

Type de document :

Communication dans un congrès

Domaine :

Sciences de l'ingénieur [physics] / Electromagnétisme

Sciences de l'ingénieur [physics] / Micro et nanotechnologies/Microélectronique

Liste complète des métadonnées

https://hal-unilim.archives-ouvertes.fr/hal-01244994
Contributeur : arnaud pothier Connectez-vous pour contacter le contributeur
Soumis le : mercredi 16 décembre 2015 - 15:17:58
Dernière modification le : mercredi 22 décembre 2021 - 11:58:04

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