Simple Creep Parameters Extraction in Metal Contact RF-MEMS Switches

Emilien Lemoine; Arnaud Pothier; Aurelian Crunteanu; Pierre Blondy; Laurent Marchand; Nicolas Saillen

doi:10.1109/MWSYM.2015.7167008

Simple Creep Parameters Extraction in Metal Contact RF-MEMS Switches

Emilien Lemoine ¹ Arnaud Pothier ¹ Aurelian Crunteanu ¹ Pierre Blondy ¹ Laurent Marchand ² Nicolas Saillen ²

1 XLIM-MINACOM - MINACOM

XLIM - XLIM

2 European Space Agency

Type de document :

Communication dans un congrès

International Microwave Symposium (IMS) 2015, May 2015, Phoenix, United States. 2015, 〈http://ieeexplore.ieee.org/xpl/articleDetails.jsp?arnumber=7167008&newsearch=true&queryText=Simple%20Creep%20Parameters%20Extraction%20in%20Metal%20Contact%20RF-MEMS%20Switches〉. 〈10.1109/MWSYM.2015.7167008〉

Domaine :

Sciences de l'ingénieur [physics] / Electromagnétisme

Sciences de l'ingénieur [physics] / Micro et nanotechnologies/Microélectronique

Liste complète des métadonnées

https://hal-unilim.archives-ouvertes.fr/hal-01244994
Contributeur : Arnaud Pothier <>
Soumis le : mercredi 16 décembre 2015 - 15:17:58
Dernière modification le : mercredi 28 mars 2018 - 13:20:02

Emilien Lemoine, Arnaud Pothier, Aurelian Crunteanu, Pierre Blondy, Laurent Marchand, et al.. Simple Creep Parameters Extraction in Metal Contact RF-MEMS Switches . International Microwave Symposium (IMS) 2015, May 2015, Phoenix, United States. 2015, 〈http://ieeexplore.ieee.org/xpl/articleDetails.jsp?arnumber=7167008&newsearch=true&queryText=Simple%20Creep%20Parameters%20Extraction%20in%20Metal%20Contact%20RF-MEMS%20Switches〉. 〈10.1109/MWSYM.2015.7167008〉. 〈hal-01244994〉

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