A study on controllable aluminum doped zinc oxide patterning by chemical etching for MEMS application

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Microsystem Technologies, Springer Verlag, 2016, 〈10.1007/s00542-015-2783-1〉
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Contributeur : Matthieu Chatras <>
Soumis le : vendredi 29 janvier 2016 - 12:10:31
Dernière modification le : mercredi 14 février 2018 - 16:29:31

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A.A Ralib, A.N Nordin, N.A Malik, R Othman, A.H.M Zahirul Alam, et al.. A study on controllable aluminum doped zinc oxide patterning by chemical etching for MEMS application . Microsystem Technologies, Springer Verlag, 2016, 〈10.1007/s00542-015-2783-1〉. 〈hal-01264439〉

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