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Article dans une revue
A study on controllable aluminum doped zinc oxide patterning by chemical etching for MEMS application
A.A Ralib
A.N Nordin
N.A Malik
R Othman
A.H.M Zahirul Alam
S Khan
Oussama Mortada
1
Aurelian Crunteanu
1
Jean-Christophe Orlianges
2
Matthieu Chatras
1
Pierre Blondy
1
1
XLIM-RFEI - RF-ELITE : RF-Electronique Imprimée pour les Télécommunications et l'Energie
XLIM - XLIM : RFEI
2
Axe 2 : procédés de traitements de surface
SPCTS - Science des Procédés Céramiques et de Traitements de Surface
A.H.M Zahirul Alam
Auteur
S Khan
Auteur
Oussama Mortada 1
Auteur
Aurelian Crunteanu 1
Auteur Etablissement employeur : Centre National de la Recherche Scientifique IdHAL : aurelian-crunteanu ResearcherId : http://www.researcherid.com/rid/J-9241-2012 ORCID : https://orcid.org/0000-0001-8648-5368
Jean-Christophe Orlianges 2
Auteur IdHAL : j-c-orlianges
Matthieu Chatras 1
Auteur IdHAL : matthieu-chatras
Pierre Blondy 1
Auteur
1
XLIM-RFEI - RF-ELITE : RF-Electronique Imprimée pour les Télécommunications et l'Energie (XLIM - 123, avenue Albert Thomas - 87060 LIMOGES CEDEX - France)
- XLIM - XLIM : RFEI (123 Avenue Albert THOMAS 87060 LIMOGES CEDEX - France)
- UNILIM - Université de Limoges (33 rue François Mitterrand BP23204 87032 Limoges - France)
- CNRS - Centre National de la Recherche Scientifique : UMR 7252 (France)
2
Axe 2 : procédés de traitements de surface (France)
- SPCTS - Science des Procédés Céramiques et de Traitements de Surface (SPCTS, Centre Européen de la Céramique, 12 Rue Atlantis, 87068 LIMOGES CEDEX - France)
- UNILIM - Université de Limoges : UMR6638 (33 rue François Mitterrand BP23204 87032 Limoges - France)
- ENSCI - Ecole Nationale Supérieure de Céramique Industrielle : UMR6638 (Centre Européen de la Céramique - 12, rue Atlantis - 87068 Limoges Cedex - France)
- IPAM - Institut des Procédés Appliqués aux Matériaux : UMR6638 (Centre Européen de la Céramique
12, rue Atlantis, parc d’Ester
87068 Limoges Cedex - France)
- UNILIM - Université de Limoges (33 rue François Mitterrand BP23204 87032 Limoges - France)
- INC - Institut de Chimie du CNRS : UMR6638 (3 Rue Michel-Ange 75 016 Paris - France)
- CNRS - Centre National de la Recherche Scientifique : UMR6638 (France)
Type de document :
Article dans une revue
Domaine :
Liste complète des métadonnées
https://hal-unilim.archives-ouvertes.fr/hal-01264439
Contributeur : Matthieu Chatras Connectez-vous pour contacter le contributeur
Soumis le : vendredi 29 janvier 2016 - 12:10:31
Dernière modification le : mercredi 22 décembre 2021 - 11:58:10
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Lien texte intégral
Identifiants
- HAL Id : hal-01264439, version 1
- DOI : 10.1007/s00542-015-2783-1
Collections
UNILIM | CNRS | SPCTS-AXE2 | IPAM | SPCTS | XLIM | XLIM-RFEI | IRCER | IRCER-AXE2 | INC-CNRS
Citation
A.A Ralib, A.N Nordin, N.A Malik, R Othman, A.H.M Zahirul Alam, et al.. A study on controllable aluminum doped zinc oxide patterning by chemical etching for MEMS application . Microsystem Technologies, Springer Verlag, 2016, ⟨10.1007/s00542-015-2783-1⟩. ⟨hal-01264439⟩
Métriques
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