Effet de l’inhomogénéité des films de ZnO sur les performances de micro-résonateurs piézoélectriques

Oussama Mortada; Jean-Christophe Orlianges; Aurelian Crunteanu; Matthieu Chatras; Pierre Blondy

Effet de l’inhomogénéité des films de ZnO sur les performances de micro-résonateurs piézoélectriques

Oussama Mortada ¹ Jean-Christophe Orlianges ¹ Aurelian Crunteanu ¹ Matthieu Chatras ¹ Pierre Blondy ¹

1 XLIM-RFEI - RF-ELITE : RF-Electronique Imprimée pour les Télécommunications et l'Energie

XLIM - XLIM : RFEI

Type de document :

Communication dans un congrès

Journées nationales micro-ondes, May 2017, Saint Malo, France

Domaine :

Sciences de l'ingénieur [physics] / Electronique

Liste complète des métadonnées

https://hal-unilim.archives-ouvertes.fr/hal-01566490
Contributeur : Matthieu Chatras <>
Soumis le : vendredi 21 juillet 2017 - 10:46:57
Dernière modification le : jeudi 11 janvier 2018 - 06:27:37

Effet de l’inhomogénéité des films de ZnO sur les performances de micro-résonateurs piézoélectriques

Identifiants

Collections

Citation

Exporter

Métriques

43

Effet de l’inhomogénéité des films de ZnO sur les performances de micro-résonateurs piézoélectriques

Identifiants

Collections

Citation

Exporter

Partager

Métriques

43