Effet de l’inhomogénéité des films de ZnO sur les performances de micro-résonateurs piézoélectriques

Oussama Mortada; Jean-Christophe Orlianges; Aurelian Crunteanu; Matthieu Chatras; Pierre Blondy

Effet de l’inhomogénéité des films de ZnO sur les performances de micro-résonateurs piézoélectriques

Oussama Mortada ¹ Jean-Christophe Orlianges ¹ Aurelian Crunteanu ¹ Matthieu Chatras ¹ Pierre Blondy ¹

1 XLIM-RFEI - RF-ELITE : RF-Electronique Imprimée pour les Télécommunications et l'Energie

XLIM - XLIM : RFEI

Type de document :

Communication dans un congrès

Domaine :

Sciences de l'ingénieur [physics] / Electronique

Liste complète des métadonnées

https://hal-unilim.archives-ouvertes.fr/hal-01566490
Contributeur : Matthieu Chatras <>
Soumis le : vendredi 21 juillet 2017 - 10:46:57
Dernière modification le : mardi 12 novembre 2019 - 14:06:03

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