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Communication Dans Un Congrès Année :

Effet de l’inhomogénéité des films de ZnO sur les performances de micro-résonateurs piézoélectriques

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Sciences de l'ingénieur [physics] Electronique

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Soumis le : vendredi 21 juillet 2017-10:46:57

Dernière modification le : vendredi 7 janvier 2022-03:45:34

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Dates et versions

hal-01566490 , version 1 (21-07-2017)

Identifiants

  • HAL Id : hal-01566490 , version 1

Citer

Oussama Mortada, Jean-Christophe Orlianges, Aurelian Crunteanu, Matthieu Chatras, Pierre Blondy. Effet de l’inhomogénéité des films de ZnO sur les performances de micro-résonateurs piézoélectriques. Journées nationales micro-ondes, May 2017, Saint Malo, France. ⟨hal-01566490⟩

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