Effet de l’inhomogénéité des films de ZnO sur les performances de micro-résonateurs piézoélectriques

Type de document :
Communication dans un congrès
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Contributeur : Matthieu Chatras <>
Soumis le : vendredi 21 juillet 2017 - 10:46:57
Dernière modification le : mardi 12 novembre 2019 - 14:06:03

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  • HAL Id : hal-01566490, version 1

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Oussama Mortada, Jean-Christophe Orlianges, Aurelian Crunteanu, Matthieu Chatras, Pierre Blondy. Effet de l’inhomogénéité des films de ZnO sur les performances de micro-résonateurs piézoélectriques. Journées nationales micro-ondes, May 2017, Saint Malo, France. ⟨hal-01566490⟩

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