Influence de la puissance incidente sur les propriétés diélectriques de couches minces de BaSrTiO3

Kevin Nadaud (1) , Caroline Borderon (2) , Raphaël Renoud (2) , Areski Ghalem (1) , Aurelian Crunteanu (1) , Laure Huitema (3) , Frédéric Dumas-Bouchiat (4) , Pascal Marchet (5) , Corinne Champeaux (5) , Hartmut W. Gundel (2)

1 XLIM-RFEI - RF-ELITE : RF-Electronique Imprimée pour les Télécommunications et l'Energie
2 IETR - Institut d'Électronique et des Technologies du numéRique
3 XLIM-SRF - Systèmes RF
4 Axe 2 : procédés de traitements de surface
5 SPCTS - Science des Procédés Céramiques et de Traitements de Surface

Domaines: Matériaux; Micro et nanotechnologies/Microélectronique

Kevin Nadaud, Caroline Borderon, Raphaël Renoud, Areski Ghalem, Aurelian Crunteanu, et al.. Influence de la puissance incidente sur les propriétés diélectriques de couches minces de BaSrTiO3. 20èmes Journées Nationales Micro-Ondes JNM 2017, 16-19 mai 2017 Saint-Malo, France, May 2017, Saint-Malo, France. ⟨hal-01568940⟩