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Poster de conférence

OES characterization of a nanoparticles source based on magnetron sputtering

Type de document :
Poster de conférence
Liste complète des métadonnées

https://hal-unilim.archives-ouvertes.fr/hal-01831800
Contributeur : BEATRICE DERORY Connectez-vous pour contacter le contributeur
Soumis le : vendredi 6 juillet 2018 - 11:23:20
Dernière modification le : samedi 26 mars 2022 - 04:30:44

Identifiants

  • HAL Id : hal-01831800, version 1

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Citation

Maileth Orozco Montes, Cédric Jaoul, Frédéric Dumas-Bouchiat, Pascal Tristant. OES characterization of a nanoparticles source based on magnetron sputtering. 15th International Conference on Plasma Surface Engineering, Sep 2016, Garmisch Partenkirchen, Germany. . ⟨hal-01831800⟩

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