OES characterization of a nanoparticles source based on magnetron sputtering

Maileth Orozco Montes; Cédric Jaoul; Frédéric Dumas-Bouchiat; Pascal Tristant

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OES characterization of a nanoparticles source based on magnetron sputtering

Maileth Orozco Montes ¹ Cédric Jaoul ² Frédéric Dumas-Bouchiat ² Pascal Tristant ²

1 SPCTS - Science des Procédés Céramiques et de Traitements de Surface

2 SPCTS-AXE2 - Axe 2 : procédés plasmas et lasers

SPCTS - Science des Procédés Céramiques et de Traitements de Surface

Maileth Orozco Montes ¹ AuthorId : 11168270
Auteur

Cédric Jaoul ² AuthorId : 754344

Auteur IdHAL : cedric-jaoul

Frédéric Dumas-Bouchiat ² AuthorId : 984557

Auteur IdHAL : frederic-dumas-bouchiat ORCID : https://orcid.org/0000-0001-8004-4529

Pascal Tristant ² AuthorId : 726929

Auteur IdHAL : pascal-tristant

1 SPCTS - Science des Procédés Céramiques et de Traitements de Surface (SPCTS, Centre Européen de la Céramique, 12 Rue Atlantis, 87068 LIMOGES CEDEX - France) StructId : 179082

UNILIM - Université de Limoges : UMR7315 (33 rue François Mitterrand BP23204 87032 Limoges - France) StructId : 5928
ENSCI - Ecole Nationale Supérieure de Céramique Industrielle : UMR7315 (Centre Européen de la Céramique - 12, rue Atlantis - 87068 Limoges Cedex - France) StructId : 300398
IPAM - Institut des Procédés Appliqués aux Matériaux : UMR7315 (Centre Européen de la Céramique 12, rue Atlantis, parc d’Ester 87068 Limoges Cedex - France) StructId : 301999
- UNILIM - Université de Limoges (33 rue François Mitterrand BP23204 87032 Limoges - France) StructId : 5928
INC - Institut de Chimie du CNRS : UMR7315 (3 Rue Michel-Ange 75 016 Paris - France) StructId : 341038
CNRS - Centre National de la Recherche Scientifique : UMR7315 (France) StructId : 441569

2 SPCTS-AXE2 - Axe 2 : procédés plasmas et lasers (France) StructId : 410758

SPCTS - Science des Procédés Céramiques et de Traitements de Surface (SPCTS, Centre Européen de la Céramique, 12 Rue Atlantis, 87068 LIMOGES CEDEX - France) StructId : 179082
- UNILIM - Université de Limoges : UMR7315 (33 rue François Mitterrand BP23204 87032 Limoges - France) StructId : 5928
- ENSCI - Ecole Nationale Supérieure de Céramique Industrielle : UMR7315 (Centre Européen de la Céramique - 12, rue Atlantis - 87068 Limoges Cedex - France) StructId : 300398
- IPAM - Institut des Procédés Appliqués aux Matériaux : UMR7315 (Centre Européen de la Céramique 12, rue Atlantis, parc d’Ester 87068 Limoges Cedex - France) StructId : 301999
  - UNILIM - Université de Limoges (33 rue François Mitterrand BP23204 87032 Limoges - France) StructId : 5928
- INC - Institut de Chimie du CNRS : UMR7315 (3 Rue Michel-Ange 75 016 Paris - France) StructId : 341038
- CNRS - Centre National de la Recherche Scientifique : UMR7315 (France) StructId : 441569

Type de document :

Poster

Domaine :

Chimie / Matériaux

Sciences de l'ingénieur [physics] / Matériaux

Liste complète des métadonnées

https://hal-unilim.archives-ouvertes.fr/hal-01831800
Contributeur : Beatrice Derory <>
Soumis le : vendredi 6 juillet 2018 - 11:23:20
Dernière modification le : samedi 7 juillet 2018 - 01:17:08

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HAL Id : hal-01831800, version 1

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Maileth Orozco Montes, Cédric Jaoul, Frédéric Dumas-Bouchiat, Pascal Tristant. OES characterization of a nanoparticles source based on magnetron sputtering. 15th International Conference on Plasma Surface Engineering, Sep 2016, Garmisch Partenkirchen, Germany. ⟨hal-01831800⟩

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