OES characterization of a nanoparticles source based on magnetron sputtering

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Contributeur : Beatrice Derory <>
Soumis le : vendredi 6 juillet 2018 - 11:23:20
Dernière modification le : samedi 7 juillet 2018 - 01:17:08

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Maileth Orozco Montes, Cédric Jaoul, Frédéric Dumas-Bouchiat, Pascal Tristant. OES characterization of a nanoparticles source based on magnetron sputtering. 15th International Conference on Plasma Surface Engineering, Sep 2016, Garmisch Partenkirchen, Germany. ⟨https://www.efds.org/en/veranstaltungen/event/8-15th-international-conference-on-plasma-surface-engineering-conference-and-exhibition⟩. ⟨hal-01831800⟩

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