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Poster de conférence

OES characterization of a nanoparticles source based on magnetron sputtering

Maileth Orozco Montes 1 Cédric Jaoul 2 Frédéric Dumas-Bouchiat 2 Pascal Tristant 2 
1 SPCTS - Science des Procédés Céramiques et de Traitements de Surface
2 SPCTS-AXE2 - Axe 2 : procédés plasmas et lasers
SPCTS - Science des Procédés Céramiques et de Traitements de Surface
Type de document :
Poster de conférence
Liste complète des métadonnées
https://hal-unilim.archives-ouvertes.fr/hal-01831800
Contributeur : BEATRICE DERORY Connectez-vous pour contacter le contributeur
Soumis le : vendredi 6 juillet 2018 - 11:23:20
Dernière modification le : samedi 26 mars 2022 - 04:30:44

Identifiants

  • HAL Id : hal-01831800, version 1

Collections

UNILIM | CNRS | SPCTS | SPCTS-AXE2 | IPAM | INC-CNRS | IRCER | IRCER-AXE2 | IMPEO

Citation

Maileth Orozco Montes, Cédric Jaoul, Frédéric Dumas-Bouchiat, Pascal Tristant. OES characterization of a nanoparticles source based on magnetron sputtering. 15th International Conference on Plasma Surface Engineering, Sep 2016, Garmisch Partenkirchen, Germany. . ⟨hal-01831800⟩

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