Films de TiO2 réalisés en dynamique par PECVD à pression atmosphérique : Optimisation du procédé pour l’obtention de couches cristallisées

A. Perraudeau Christelle Dublanche-Tixier 1 Christophe Chazelas 1 Pascal Tristant 1
1 Axe 2 : procédés de traitements de surface
SPCTS - Science des Procédés Céramiques et de Traitements de Surface
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Poster
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Contributeur : Beatrice Derory <>
Soumis le : mardi 17 juillet 2018 - 10:08:07
Dernière modification le : mercredi 18 juillet 2018 - 01:15:51

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  • HAL Id : hal-01841146, version 1

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A. Perraudeau, Christelle Dublanche-Tixier, Christophe Chazelas, Pascal Tristant. Films de TiO2 réalisés en dynamique par PECVD à pression atmosphérique : Optimisation du procédé pour l’obtention de couches cristallisées. Journées Réseau Plasmas Froids, Oct 2016, La Rochelle, France. ⟨hal-01841146⟩

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