Films de TiO2 réalisés en dynamique par PECVD à pression atmosphérique : Optimisation du procédé pour l’obtention de couches cristallisées - Université de Limoges Accéder directement au contenu
Poster De Conférence Année : 2016

Films de TiO2 réalisés en dynamique par PECVD à pression atmosphérique : Optimisation du procédé pour l’obtention de couches cristallisées

A. Perraudeau
  • Fonction : Auteur
Christelle Dublanche-Tixier
Axe 2 : procédés de traitements de surface
Christophe Chazelas
Axe 2 : procédés de traitements de surface
Pascal Tristant
Axe 2 : procédés de traitements de surface

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Matériaux Matériaux

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https://unilim.hal.science/hal-01841146

Soumis le : mardi 17 juillet 2018-10:08:07

Dernière modification le : jeudi 11 avril 2024-13:08:14

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-01841146 , version 1 (17-07-2018)

Identifiants

  • HAL Id : hal-01841146 , version 1

Citer

A. Perraudeau, Christelle Dublanche-Tixier, Christophe Chazelas, Pascal Tristant. Films de TiO2 réalisés en dynamique par PECVD à pression atmosphérique : Optimisation du procédé pour l’obtention de couches cristallisées. Journées Réseau Plasmas Froids, Oct 2016, La Rochelle, France. ⟨hal-01841146⟩

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