Contribution of optical emission spectroscopy measurements to the understanding of TiO 2 growth by chemical vapor deposition using an atmospheric-pressure plasma torch

C. Chazelas 1 C. Dublanche-Tixier 1 P. Tristant 1 Yoan Gazal 1
1 SPCTS-AXE2 - Axe 2 : procédés plasmas et lasers
SPCTS - Science des Procédés Céramiques et de Traitements de Surface
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Contributeur : Beatrice Derory <>
Soumis le : mardi 2 octobre 2018 - 15:35:16
Dernière modification le : mercredi 3 octobre 2018 - 01:16:00

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C. Chazelas, C. Dublanche-Tixier, P. Tristant, Yoan Gazal. Contribution of optical emission spectroscopy measurements to the understanding of TiO 2 growth by chemical vapor deposition using an atmospheric-pressure plasma torch. Journal of Applied Physics, American Institute of Physics, 2017, 121 (12), ⟨10.1063/1.4979024⟩. ⟨hal-01886094⟩

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