Contribution of optical emission spectroscopy measurements to the understanding of TiO 2 growth by chemical vapor deposition using an atmospheric-pressure plasma torch

Christophe Chazelas; C. Dublanche-Tixier; P. Tristant; Yoan Gazal

doi:10.1063/1.4979024

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Contribution of optical emission spectroscopy measurements to the understanding of TiO 2 growth by chemical vapor deposition using an atmospheric-pressure plasma torch

Christophe Chazelas ¹ C. Dublanche-Tixier ¹ P. Tristant ¹ Yoan Gazal ¹

1 SPCTS-AXE2 - Axe 2 : procédés plasmas et lasers

SPCTS - Science des Procédés Céramiques et de Traitements de Surface

Type de document :

Article dans une revue

Domaine :

Chimie / Matériaux

Sciences de l'ingénieur [physics] / Matériaux

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Contributeur : Beatrice Derory <>
Soumis le : mardi 2 octobre 2018 - 15:35:16
Dernière modification le : mardi 25 février 2020 - 10:28:02

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