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Contribution of optical emission spectroscopy measurements to the understanding of TiO 2 growth by chemical vapor deposition using an atmospheric-pressure plasma torch

Christophe Chazelas 1 C. Dublanche-Tixier 1 P. Tristant 1 yoan Gazal 1 
1 SPCTS-AXE2 - Axe 2 : procédés plasmas et lasers
SPCTS - Science des Procédés Céramiques et de Traitements de Surface
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Contributeur : BEATRICE DERORY Connectez-vous pour contacter le contributeur
Soumis le : mardi 2 octobre 2018 - 15:35:16
Dernière modification le : samedi 26 mars 2022 - 04:29:13

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Christophe Chazelas, C. Dublanche-Tixier, P. Tristant, yoan Gazal. Contribution of optical emission spectroscopy measurements to the understanding of TiO 2 growth by chemical vapor deposition using an atmospheric-pressure plasma torch. Journal of Applied Physics, American Institute of Physics, 2017, 121 (12), ⟨10.1063/1.4979024⟩. ⟨hal-01886094⟩

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