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Films de dioxyde de titane déposé par PECVD à la pression atmosphérique : comparaison des modes de dépôt statique et dynamique

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https://hal-unilim.archives-ouvertes.fr/hal-01893257

Soumis le : jeudi 11 octobre 2018-11:30:35

Dernière modification le : vendredi 24 mars 2023-14:53:08

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-01893257 , version 1 (11-10-2018)

Identifiants

  • HAL Id : hal-01893257 , version 1

Citer

Amelie Perraudeau, Christelle Dublanche-Tixier, Christophe Chazelas, Pascal Tristant. Films de dioxyde de titane déposé par PECVD à la pression atmosphérique : comparaison des modes de dépôt statique et dynamique. PLUMEE 2017, Oct 2017, Bacau, Roumanie. ⟨hal-01893257⟩

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