Films de dioxyde de titane déposé par PECVD à la pression atmosphérique : comparaison des modes de dépôt statique et dynamique

Amelie Perraudeau 1 Christelle Dublanche-Tixier 2 Christophe Chazelas 2 Pascal Tristant 2
1 SPCTS-AXE2 - Axe 2 : procédés plasmas et lasers
SPCTS - Science des Procédés Céramiques et de Traitements de Surface
2 Axe 2 : procédés de traitements de surface
SPCTS - Science des Procédés Céramiques et de Traitements de Surface
Type de document :
Communication dans un congrès
Liste complète des métadonnées

https://hal-unilim.archives-ouvertes.fr/hal-01893257
Contributeur : Beatrice Derory <>
Soumis le : jeudi 11 octobre 2018 - 11:30:35
Dernière modification le : vendredi 12 octobre 2018 - 01:17:09

Identifiants

  • HAL Id : hal-01893257, version 1

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Citation

Amelie Perraudeau, Christelle Dublanche-Tixier, Christophe Chazelas, Pascal Tristant. Films de dioxyde de titane déposé par PECVD à la pression atmosphérique : comparaison des modes de dépôt statique et dynamique. PLUMEE 2017, Oct 2017, Bacau, Roumanie. ⟨hal-01893257⟩

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