Films de dioxyde de titane déposé par PECVD à la pression atmosphérique : comparaison des modes de dépôt statique et dynamique

Amelie Perraudeau; Christelle Dublanche-Tixier; Christophe Chazelas; Pascal Tristant

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Amelie Perraudeau ¹ Christelle Dublanche-Tixier ² Christophe Chazelas ² Pascal Tristant ²

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SPCTS - Science des Procédés Céramiques et de Traitements de Surface

2 Axe 2 : procédés de traitements de surface

SPCTS - Science des Procédés Céramiques et de Traitements de Surface

Type de document :

Communication dans un congrès

Domaine :

Chimie / Matériaux

Sciences de l'ingénieur [physics] / Matériaux

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https://hal-unilim.archives-ouvertes.fr/hal-01893257
Contributeur : Beatrice Derory <>
Soumis le : jeudi 11 octobre 2018 - 11:30:35
Dernière modification le : vendredi 12 octobre 2018 - 01:17:09

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