Films de dioxyde de titane déposé par PECVD à la pression atmosphérique : comparaison des modes de dépôt statique et dynamique

Amelie Perraudeau; Christelle Dublanche-Tixier; Christophe Chazelas; Pascal Tristant

Communication dans un congrès

Films de dioxyde de titane déposé par PECVD à la pression atmosphérique : comparaison des modes de dépôt statique et dynamique

Amelie Perraudeau ¹ Christelle Dublanche-Tixier ² Christophe Chazelas ² Pascal Tristant ²

1 SPCTS-AXE2 - Axe 2 : procédés plasmas et lasers

SPCTS - Science des Procédés Céramiques et de Traitements de Surface

2 Axe 2 : procédés de traitements de surface

SPCTS - Science des Procédés Céramiques et de Traitements de Surface

Type de document :

Communication dans un congrès

Domaine :

Chimie / Matériaux

Sciences de l'ingénieur [physics] / Matériaux

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Contributeur : BEATRICE DERORY Connectez-vous pour contacter le contributeur
Soumis le : jeudi 11 octobre 2018 - 11:30:35
Dernière modification le : samedi 26 mars 2022 - 04:28:37

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