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Titanium dioxide films deposited by an atmospheric pressure PECVD torch: comparison of the static and the dynamic modes

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https://hal-unilim.archives-ouvertes.fr/hal-01898632

Soumis le : jeudi 18 octobre 2018-16:09:52

Dernière modification le : vendredi 24 mars 2023-14:53:08

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-01898632 , version 1 (18-10-2018)

Identifiants

  • HAL Id : hal-01898632 , version 1

Citer

Amelie Perraudeau, Christelle Dublanche-Tixier, Christophe Chazelas, Pascal Tristant. Titanium dioxide films deposited by an atmospheric pressure PECVD torch: comparison of the static and the dynamic modes. CIP MIATEC 2017, Jun 2017, Nice, France. ⟨hal-01898632⟩

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