Titanium dioxide films deposited by an atmospheric pressure PECVD torch: comparison of the static and the dynamic modes

Amelie Perraudeau; Christelle Dublanche-Tixier; Christophe Chazelas; Pascal Tristant

Titanium dioxide films deposited by an atmospheric pressure PECVD torch: comparison of the static and the dynamic modes

Amelie Perraudeau ¹ Christelle Dublanche-Tixier ² Christophe Chazelas ² Pascal Tristant ²

1 SPCTS-AXE2 - Axe 2 : procédés plasmas et lasers

SPCTS - Science des Procédés Céramiques et de Traitements de Surface

2 Axe 2 : procédés de traitements de surface

SPCTS - Science des Procédés Céramiques et de Traitements de Surface

Type de document :

Poster

Domaine :

Chimie / Matériaux

Sciences de l'ingénieur [physics] / Matériaux

Liste complète des métadonnées

https://hal-unilim.archives-ouvertes.fr/hal-01898632
Contributeur : Beatrice Derory <>
Soumis le : jeudi 18 octobre 2018 - 16:09:52
Dernière modification le : vendredi 19 octobre 2018 - 01:15:14

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