Titanium dioxide films deposited by an atmospheric pressure PECVD torch: comparison of the static and the dynamic modes

Amelie Perraudeau 1 Christelle Dublanche-Tixier 2 Christophe Chazelas 2 Pascal Tristant 2
1 SPCTS-AXE2 - Axe 2 : procédés plasmas et lasers
SPCTS - Science des Procédés Céramiques et de Traitements de Surface
2 Axe 2 : procédés de traitements de surface
SPCTS - Science des Procédés Céramiques et de Traitements de Surface
Type de document :
Poster
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Contributeur : Beatrice Derory <>
Soumis le : jeudi 18 octobre 2018 - 16:09:52
Dernière modification le : vendredi 19 octobre 2018 - 01:15:14

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  • HAL Id : hal-01898632, version 1

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Amelie Perraudeau, Christelle Dublanche-Tixier, Christophe Chazelas, Pascal Tristant. Titanium dioxide films deposited by an atmospheric pressure PECVD torch: comparison of the static and the dynamic modes. CIP MIATEC 2017, Jun 2017, Nice, France. ⟨hal-01898632⟩

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