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Titanium dioxide films deposited by an atmospheric pressure PECVD torch: comparison of the static and the dynamic modes

Amelie Perraudeau 1 Christelle Dublanche-Tixier 2 Christophe Chazelas 2 Pascal Tristant 2 
1 SPCTS-AXE2 - Axe 2 : procédés plasmas et lasers
SPCTS - Science des Procédés Céramiques et de Traitements de Surface
2 Axe 2 : procédés de traitements de surface
SPCTS - Science des Procédés Céramiques et de Traitements de Surface
Type de document :
Poster
Liste complète des métadonnées

https://hal-unilim.archives-ouvertes.fr/hal-01898632
Contributeur : BEATRICE DERORY Connectez-vous pour contacter le contributeur
Soumis le : jeudi 18 octobre 2018 - 16:09:52
Dernière modification le : samedi 26 mars 2022 - 04:30:25

Identifiants

  • HAL Id : hal-01898632, version 1

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Citation

Amelie Perraudeau, Christelle Dublanche-Tixier, Christophe Chazelas, Pascal Tristant. Titanium dioxide films deposited by an atmospheric pressure PECVD torch: comparison of the static and the dynamic modes. CIP MIATEC 2017, Jun 2017, Nice, France. ⟨hal-01898632⟩

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