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Communication dans un congrès
Optimisation du mode de dépôt dynamique pour l'élaboration de films minces de TiO2 par PECVD à la pression atmosphérique.
Amelie Perraudeau
1
Christelle Dublanche-Tixier
1
Christophe Chazelas
1
Pascal Tristant
1
1
IRCER-AXE2 - IRCER - Axe 2 : procédés plasmas et lasers
IRCER - Institut de Recherche sur les CERamiques : AXE2
Amelie Perraudeau 1
Auteur
Christelle Dublanche-Tixier 1
Mail :
Auteur
Christophe Chazelas 1
Mail :
Auteur IdHAL : christophe-chazelas
Pascal Tristant 1
Mail :
Auteur IdHAL : pascal-tristant
1
IRCER-AXE2 - IRCER - Axe 2 : procédés plasmas et lasers (Centre Européen de la Céramique, 12 Rue Atlantis, 87068 LIMOGES CEDEX - France)
- IRCER - Institut de Recherche sur les CERamiques : AXE2 (Centre Européen de la Céramique, 12 Rue Atlantis, 87068 LIMOGES CEDEX - France)
- IPAM - Institut des Procédés Appliqués aux Matériaux (Centre Européen de la Céramique
12, rue Atlantis, parc d’Ester
87068 Limoges Cedex - France)
- UNILIM - Université de Limoges (33 rue François Mitterrand BP23204 87032 Limoges - France)
- INC - Institut de Chimie du CNRS : UMR7315 (3 Rue Michel-Ange 75 016 Paris - France)
- CNRS - Centre National de la Recherche Scientifique : UMR7315 (France)
- IPAM - Institut des Procédés Appliqués aux Matériaux (Centre Européen de la Céramique
12, rue Atlantis, parc d’Ester
87068 Limoges Cedex - France)
Type de document :
Communication dans un congrès
Domaine :
Liste complète des métadonnées
https://hal-unilim.archives-ouvertes.fr/hal-02072436
Contributeur : Beatrice Derory <>
Soumis le : mardi 19 mars 2019 - 10:56:13
Dernière modification le : mardi 25 février 2020 - 10:26:02
Contributeur : Beatrice Derory <>
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Dernière modification le : mardi 25 février 2020 - 10:26:02
Identifiants
- HAL Id : hal-02072436, version 1
Collections
UNILIM | CNRS | INC-CNRS | SPCTS | IPAM | IRCER | IRCER-AXE2 | SPCTS-AXE2
Citation
Amelie Perraudeau, Christelle Dublanche-Tixier, Christophe Chazelas, Pascal Tristant. Optimisation du mode de dépôt dynamique pour l'élaboration de films minces de TiO2 par PECVD à la pression atmosphérique.. Journées MAT2VL 2019, Jan 2019, Blois, France. ⟨hal-02072436⟩
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