Optimisation du mode de dépôt dynamique pour l'élaboration de films minces de TiO2 par PECVD à la pression atmosphérique.

Type de document :
Communication dans un congrès
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Contributeur : Beatrice Derory <>
Soumis le : mardi 19 mars 2019 - 10:56:13
Dernière modification le : mercredi 3 avril 2019 - 01:57:21

Identifiants

  • HAL Id : hal-02072436, version 1

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Amelie Perraudeau, Christelle Dublanche-Tixier, Christophe Chazelas, Pascal Tristant. Optimisation du mode de dépôt dynamique pour l'élaboration de films minces de TiO2 par PECVD à la pression atmosphérique.. Journées MAT2VL 2019, Jan 2019, Blois, France. ⟨hal-02072436⟩

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