Films de TiO2 déposés par PECVD à la pression atmosphérique : optimisation des dépôts et évaluation des propriétés optiques pour le photovoltaïque

Amelie Perraudeau (1) , Christelle Dublanche-Tixier (1) , Christophe Chazelas (1) , Pascal Tristant (1) , Christophe Le Niniven (1) , Jenny Jouin (2)

1 IRCER-AXE2 - IRCER - Axe 2 : procédés plasmas et lasers
2 IRCER-AXE3 - IRCER - Axe 3 : organisation structurale multiéchelle des matériaux

Domaines: Matériaux; Matériaux

Amelie Perraudeau, Christelle Dublanche-Tixier, Christophe Chazelas, Pascal Tristant, Christophe Le Niniven, et al.. Films de TiO2 déposés par PECVD à la pression atmosphérique : optimisation des dépôts et évaluation des propriétés optiques pour le photovoltaïque. JCMM 2018 - 15èmes Journées de Caractérisation Microondes et Matériaux, Mar 2018, Paris, France. ⟨hal-02072469⟩