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Piezoelectric characteristic of nanocrystalline AlN films obtained by pulsed laser deposition at room temperature
Réalisation de films piézoélectriques de nitrure d'aluminium par dépôt chimique en phase vapeur assisté par plasma
Piezoelectric characteristic of nanocrystalline AlN films obtained by pulsed laser deposition at room temperature
Réalisation de films piézoélectriques de nitrure d'aluminium par dépôt chimique en phase vapeur assisté par plasma
Pascal Tristant
1
G. Sanchez
Christelle Dublanche-Tixier
1
Aurelian Crunteanu
2
A. Bologna-Alles
Pierre Blondy
2
Arnaud Pothier
2
Florent Tetard
3
C. Cibert
4
P. Dutheil
C. Champeaux
5
O. Masson
G. Trolliard
6
F. Tétard
A. Catherinot
1
Axe 2 : procédés de traitements de surface
SPCTS - Science des Procédés Céramiques et de Traitements de Surface
Pascal Tristant 1
Auteur IdHAL : pascal-tristant
G. Sanchez
Auteur
Christelle Dublanche-Tixier 1
Auteur
Aurelian Crunteanu 2
Auteur Etablissement employeur : Centre National de la Recherche Scientifique IdHAL : aurelian-crunteanu ResearcherId : http://www.researcherid.com/rid/J-9241-2012 ORCID : https://orcid.org/0000-0001-8648-5368
A. Bologna-Alles
Auteur
Pierre Blondy 2
Auteur
Arnaud Pothier 2
Auteur Etablissement employeur : Université de Limoges IdHAL : arnaud-pothier ORCID : https://orcid.org/0000-0001-8858-0545
Florent Tetard 3
Auteur IdHAL : florent-tetard ResearcherId : http://www.researcherid.com/rid/B-9004-2014 ORCID : https://orcid.org/0000-0001-6095-8892
C. Cibert 4
Auteur
P. Dutheil
Auteur
C. Champeaux 5
Auteur IdHAL : corinnechampeaux IdRef : https://www.idref.fr/078012260 ORCID : https://orcid.org/0000-0003-0953-2591 ISNI : http://isni.org/isni/0000000046384688
O. Masson
Auteur
1
Axe 2 : procédés de traitements de surface (France)
- SPCTS - Science des Procédés Céramiques et de Traitements de Surface (SPCTS, Centre Européen de la Céramique, 12 Rue Atlantis, 87068 LIMOGES CEDEX - France)
- UNILIM - Université de Limoges : UMR6638 (33 rue François Mitterrand BP23204 87032 Limoges - France)
- ENSCI - Ecole Nationale Supérieure de Céramique Industrielle : UMR6638 (Centre Européen de la Céramique - 12, rue Atlantis - 87068 Limoges Cedex - France)
- IPAM - Institut des Procédés Appliqués aux Matériaux : UMR6638 (Centre Européen de la Céramique
12, rue Atlantis, parc d’Ester
87068 Limoges Cedex - France)
- UNILIM - Université de Limoges (33 rue François Mitterrand BP23204 87032 Limoges - France)
- INC - Institut de Chimie du CNRS : UMR6638 (3 Rue Michel-Ange 75 016 Paris - France)
- CNRS - Centre National de la Recherche Scientifique : UMR6638 (France)
2
XLIM-RFEI - RF-ELITE : RF-Electronique Imprimée pour les Télécommunications et l'Energie (XLIM - 123, avenue Albert Thomas - 87060 LIMOGES CEDEX - France)
- XLIM - XLIM : RFEI (123 Avenue Albert THOMAS 87060 LIMOGES CEDEX - France)
- UNILIM - Université de Limoges : UMR7252 (33 rue François Mitterrand BP23204 87032 Limoges - France)
- CNRS - Centre National de la Recherche Scientifique : UMR7252 (France)
3
PMTM - Propriétés mécaniques et thermodynamiques des matériaux (CNRS,Institut Galilée, LPMTM 99 Av J.B Clément 93430 VILLETANEUSE - France)
- CNRS - Centre National de la Recherche Scientifique : UPR9001 (France)
4
SPCTS - Science des Procédés Céramiques et de Traitements de Surface (SPCTS, Centre Européen de la Céramique, 12 Rue Atlantis, 87068 LIMOGES CEDEX - France)
- UNILIM - Université de Limoges : UMR6638 (33 rue François Mitterrand BP23204 87032 Limoges - France)
- ENSCI - Ecole Nationale Supérieure de Céramique Industrielle : UMR6638 (Centre Européen de la Céramique - 12, rue Atlantis - 87068 Limoges Cedex - France)
- IPAM - Institut des Procédés Appliqués aux Matériaux : UMR6638 (Centre Européen de la Céramique
12, rue Atlantis, parc d’Ester
87068 Limoges Cedex - France)
- UNILIM - Université de Limoges (33 rue François Mitterrand BP23204 87032 Limoges - France)
- INC - Institut de Chimie du CNRS : UMR6638 (3 Rue Michel-Ange 75 016 Paris - France)
- CNRS - Centre National de la Recherche Scientifique : UMR6638 (France)
5
IBCP - Institut de biologie et chimie des protéines [Lyon] (7 Passage du Vercors 69367 LYON CEDEX 07 - France)
- UCBL - Université Claude Bernard Lyon 1 (43, boulevard du 11 novembre 1918, 69622 Villeurbanne cedex - France)
- Université de Lyon (92 rue Pasteur - CS 30122, 69361 Lyon Cedex 07 - France)
- CNRS - Centre National de la Recherche Scientifique : UMR5086 (France)
6
SPCTS - Science des Procédés Céramiques et de Traitements de Surface (SPCTS, Centre Européen de la Céramique, 12 Rue Atlantis, 87068 LIMOGES CEDEX - France)
- UNILIM - Université de Limoges : UMR7315 (33 rue François Mitterrand BP23204 87032 Limoges - France)
- ENSCI - Ecole Nationale Supérieure de Céramique Industrielle : UMR7315 (Centre Européen de la Céramique - 12, rue Atlantis - 87068 Limoges Cedex - France)
- IPAM - Institut des Procédés Appliqués aux Matériaux : UMR7315 (Centre Européen de la Céramique
12, rue Atlantis, parc d’Ester
87068 Limoges Cedex - France)
- UNILIM - Université de Limoges (33 rue François Mitterrand BP23204 87032 Limoges - France)
- INC - Institut de Chimie du CNRS : UMR7315 (3 Rue Michel-Ange 75 016 Paris - France)
- CNRS - Centre National de la Recherche Scientifique : UMR7315 (France)
Liste complète des métadonnées
https://hal-unilim.archives-ouvertes.fr/hal-02095965
Contributeur : Florent Tétard <>
Soumis le : jeudi 11 avril 2019 - 00:20:27
Dernière modification le : jeudi 19 décembre 2019 - 17:48:01
Contributeur : Florent Tétard <>
Soumis le : jeudi 11 avril 2019 - 00:20:27
Dernière modification le : jeudi 19 décembre 2019 - 17:48:01
Identifiants
- HAL Id : hal-02095965, version 1
- DOI : 10.1063/1.3527924
Collections
CNRS | UNILIM | UNIV-LYON1 | INC-CNRS | SPCTS | IRCER | IPAM | SPCTS-AXE2 | IRCER-AXE2 | XLIM | XLIM-RFEI | UDL
Citation
Pascal Tristant, G. Sanchez, Christelle Dublanche-Tixier, Aurelian Crunteanu, A. Bologna-Alles, et al.. Piezoelectric characteristic of nanocrystalline AlN films obtained by pulsed laser deposition at room temperature. Applied Physics Letters, American Institute of Physics, 2009, 97 (25), pp.45-48. ⟨10.1063/1.3527924⟩. ⟨hal-02095965⟩
Métriques
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