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Piezoelectric characteristic of nanocrystalline AlN films obtained by pulsed laser deposition at room temperature

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https://hal-unilim.archives-ouvertes.fr/hal-02095965
Contributeur : Florent Tétard <>
Soumis le : jeudi 11 avril 2019 - 00:20:27
Dernière modification le : jeudi 19 décembre 2019 - 17:48:01

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Citation

Pascal Tristant, G. Sanchez, Christelle Dublanche-Tixier, Aurelian Crunteanu, A. Bologna-Alles, et al.. Piezoelectric characteristic of nanocrystalline AlN films obtained by pulsed laser deposition at room temperature. Applied Physics Letters, American Institute of Physics, 2009, 97 (25), pp.45-48. ⟨10.1063/1.3527924⟩. ⟨hal-02095965⟩

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