Films de TiO2 déposés par PECVD à pression atmosphérique : optimisation des dépôts et évaluation des propriétés optiques pour le photovoltaïque

Type de document :
Communication dans un congrès
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Contributeur : Beatrice Derory <>
Soumis le : lundi 29 avril 2019 - 15:20:14
Dernière modification le : mardi 30 avril 2019 - 01:27:04

Identifiants

  • HAL Id : hal-02114313, version 1

Citation

Amelie Perraudeau, Christelle Dublanche-Tixier, Christophe Chazelas, Pascal Tristant, Jenny Jouin. Films de TiO2 déposés par PECVD à pression atmosphérique : optimisation des dépôts et évaluation des propriétés optiques pour le photovoltaïque. 15e journées de Caractérisation Microondes et Matériaux, Mar 2018, Paris, France. ⟨hal-02114313⟩

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