Films de TiO2 déposés par PECVD à pression atmosphérique : optimisation des dépôts et évaluation des propriétés optiques pour le photovoltaïque

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Contributeur : Beatrice Derory <>
Soumis le : jeudi 2 mai 2019 - 16:36:55
Dernière modification le : vendredi 3 mai 2019 - 01:28:29

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Citation

Amelie Perraudeau, Christelle Dublanche-Tixier, Christophe Chazelas, Pascal Tristant, Jenny Jouin. Films de TiO2 déposés par PECVD à pression atmosphérique : optimisation des dépôts et évaluation des propriétés optiques pour le photovoltaïque. JCMM 2018, Mar 2018, Paris, France. ⟨hal-02117842⟩

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