Epitaxial ferroelectric PZT and BST thin films by pulsed UV laser deposition - Archive ouverte HAL Accéder directement au contenu
Article Dans Une Revue Applied Surface Science Année : 1996

Epitaxial ferroelectric PZT and BST thin films by pulsed UV laser deposition

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Résumé

Ferroelectric PbZr Ti ,,52 0,4803 (PZT) and Ba,,,,Sr,,,,TiO, (BST) thin films are prepared by laser ablation of sintered ceramic targets. The influence of the substrate temperature during deposition on the composition and the crystallographic structure is investigated for different substrates, in order to achieve an oriented or epitaxial growth.

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Applied Surface Science 96-98 (1996) 775-778.pdf (658.56 Ko) Télécharger le fichier
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Dates et versions

hal-02296068 , version 1 (05-06-2020)

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Citer

C. Champeaux, P. Marchet, A. Catherinot. Epitaxial ferroelectric PZT and BST thin films by pulsed UV laser deposition. Applied Surface Science, 1996, 96-98, pp.775 - 778. ⟨10.1016/0169-4332(95)00553-6⟩. ⟨hal-02296068⟩
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