Accéder directement au contenu Accéder directement à la navigation
Article dans une revue

Preparation of TiO, thin films by pulsed laser deposition for waveguiding applications

Abstract : TiO, thin films have been deposited on SiO,/Si, MgO and Al,O, substrates by Pulsed Laser Deposition with a KrF excimer laser from a Wile ceramic target. From X-ray diffraction and Raman spectroscopy, their crystalline structure appear to be mainly anatase. The potentialities of waveguiding properties have been evaluated by measuring refractive index and thickness with m-line spectroscopy.
Type de document :
Article dans une revue
Domaine :
Liste complète des métadonnées

Littérature citée [15 références]  Voir  Masquer  Télécharger

https://hal-unilim.archives-ouvertes.fr/hal-02296069
Contributeur : Pascal Marchet Connectez-vous pour contacter le contributeur
Soumis le : vendredi 5 juin 2020 - 11:34:26
Dernière modification le : mercredi 20 octobre 2021 - 01:31:10

Fichier

Applied Surface Science 96-98 ...
Fichiers produits par l'(les) auteur(s)

Identifiants

Collections

Citation

C. Garapon, C. Champeaux, J. Mugnier, G. Panczer, P. Marchet, et al.. Preparation of TiO, thin films by pulsed laser deposition for waveguiding applications. Applied Surface Science, Elsevier, 1996, 96-98, pp.836 - 841. ⟨10.1016/0169-4332(95)00593-5⟩. ⟨hal-02296069⟩

Partager

Métriques

Les métriques sont temporairement indisponibles