Study of APS and conventional sintering parameters for the manufacture of TiO 2 targets for PAPVD

D. Jaramillo Raquejo; C. Palacio; Hélène Ageorges

doi:10.1088/1742-6596/1247/1/012031

Article dans une revue

Study of APS and conventional sintering parameters for the manufacture of TiO 2 targets for PAPVD

D. Jaramillo Raquejo C. Palacio ¹ Hélène Ageorges ²

1 ICSN - Institut de Chimie des Substances Naturelles

2 IRCER-AXE2 - IRCER - Axe 2 : procédés plasmas et lasers

IRCER - Institut de Recherche sur les CERamiques : AXE2

Type de document :

Article dans une revue

Domaine :

Chimie / Matériaux

Sciences de l'ingénieur [physics] / Matériaux

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https://hal-unilim.archives-ouvertes.fr/hal-02456836
Contributeur : Beatrice Derory <>
Soumis le : lundi 27 janvier 2020 - 16:05:43
Dernière modification le : samedi 3 juillet 2021 - 00:27:14

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