Study of APS and conventional sintering parameters for the manufacture of TiO 2 targets for PAPVD

D. Jaramillo Raquejo; C. Palacio; Hélène Ageorges

doi:10.1088/1742-6596/1247/1/012031

Article Dans Une Revue Journal of Physics: Conference Series Année : 2019

Study of APS and conventional sintering parameters for the manufacture of TiO 2 targets for PAPVD

, (1) , (2)

1
2

D. Jaramillo Raquejo

Fonction : Auteur

C. Palacio

Fonction : Auteur

Institut de Chimie des Substances Naturelles

Hélène Ageorges

Fonction : Auteur
PersonId : 15860
IdHAL : helene-ageorges
IdRef : 155490494

IRCER - Axe 2 : procédés plasmas et lasers

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https://hal-unilim.archives-ouvertes.fr/hal-02456836

Soumis le : lundi 27 janvier 2020-16:05:43

Dernière modification le : vendredi 2 juin 2023-15:14:33

Dates et versions

hal-02456836 , version 1 (27-01-2020)

Identifiants

HAL Id : hal-02456836 , version 1
DOI : 10.1088/1742-6596/1247/1/012031

Citer

D. Jaramillo Raquejo, C. Palacio, Hélène Ageorges. Study of APS and conventional sintering parameters for the manufacture of TiO 2 targets for PAPVD. Journal of Physics: Conference Series, 2019, 1247, pp.012031. ⟨10.1088/1742-6596/1247/1/012031⟩. ⟨hal-02456836⟩

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