Accéder directement au contenu Accéder directement à la navigation
Article dans une revue

Dynamic mode optimization for the deposition of homogeneous TiO2 thin film by atmospheric pressure PECVD using a microwave plasma torch

Amelie Perraudeau 1 Christelle Dublanche-Tixier 1 Pascal Tristant 1 Christophe Chazelas 1
1 IRCER-AXE2 - IRCER - Axe 2 : procédés plasmas et lasers
IRCER - Institut de Recherche sur les CERamiques : AXE2
Type de document :
Article dans une revue
Liste complète des métadonnées
https://hal-unilim.archives-ouvertes.fr/hal-02475685
Contributeur : Accord Elsevier Ccsd Connectez-vous pour contacter le contributeur
Soumis le : lundi 25 octobre 2021 - 14:49:06
Dernière modification le : mercredi 3 novembre 2021 - 06:28:55

Fichier

Vignette du document
S0169433219320938.pdf
Fichiers produits par l'(les) auteur(s)

Licence

Distributed under a Creative Commons Paternité - Pas d'utilisation commerciale 4.0 International License
Manuscrit accepté hébergé par Elsevier

Identifiants

Collections

UNILIM | CNRS | SPCTS | SPCTS-AXE2 | IPAM | INC-CNRS | IRCER | IRCER-AXE2

Citation

Amelie Perraudeau, Christelle Dublanche-Tixier, Pascal Tristant, Christophe Chazelas. Dynamic mode optimization for the deposition of homogeneous TiO2 thin film by atmospheric pressure PECVD using a microwave plasma torch. Applied Surface Science, Elsevier, 2019, 493, pp.703-709. ⟨10.1016/j.apsusc.2019.07.057⟩. ⟨hal-02475685⟩

Exporter

BibTeX TEI DC DCterms EndNote

Partager

Métriques

Les métriques sont temporairement indisponibles

Université de Limoges
33 rue François Mitterrand
BP 23204
87032 Limoges - France
Tél. +33 (5) 05 55 14 91 00
université ouverte
source de réussites

Contact : svp-scd@unilim.fr

CONTACT

CCSD