Continuum breakdown conditions in low power PS-PVD system - Archive ouverte HAL Accéder directement au contenu
Communication Dans Un Congrès Année :

Continuum breakdown conditions in low power PS-PVD system

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Dmitrii Ivchenko
  • Fonction : Auteur
IRCER - Axe 2 : procédés plasmas et lasers
Gilles Mariaux
  • Fonction : Auteur
  • PersonId : 925439
IRCER - Axe 2 : procédés plasmas et lasers
Armelle Vardelle
IRCER - Axe 2 : procédés plasmas et lasers
L. Hallo
  • Fonction : Auteur

Domaines

Chimie Matériaux Sciences de l'ingénieur [physics] Matériaux

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https://hal-unilim.archives-ouvertes.fr/hal-02504250

Soumis le : mardi 10 mars 2020-15:39:12

Dernière modification le : samedi 26 mars 2022-04:30:04

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-02504250 , version 1 (10-03-2020)

Identifiants

  • HAL Id : hal-02504250 , version 1

Citer

Dmitrii Ivchenko, Gilles Mariaux, Armelle Vardelle, L. Hallo. Continuum breakdown conditions in low power PS-PVD system. 9th RIPT, Dec 2019, Forschungszentrum Jülich, Germany. ⟨hal-02504250⟩

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