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Communication Dans Un Congrès Année :

Continuum breakdown conditions in low power PS-PVD system

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Fichier non déposé

Dates et versions

hal-02504250 , version 1 (10-03-2020)

Identifiants

  • HAL Id : hal-02504250 , version 1

Citer

Dmitrii Ivchenko, Gilles Mariaux, Armelle Vardelle, L. Hallo. Continuum breakdown conditions in low power PS-PVD system. 9th RIPT, Dec 2019, Forschungszentrum Jülich, Germany. ⟨hal-02504250⟩
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