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Communication dans un congrès

Continuum breakdown conditions in low power PS-PVD system

Dmitrii Ivchenko 1 Gilles Mariaux 1 Armelle Vardelle 1 L. Hallo 
1 IRCER-AXE2 - IRCER - Axe 2 : procédés plasmas et lasers
IRCER - Institut de Recherche sur les CERamiques : AXE2
Type de document :
Communication dans un congrès
Liste complète des métadonnées
https://hal-unilim.archives-ouvertes.fr/hal-02504250
Contributeur : BEATRICE DERORY Connectez-vous pour contacter le contributeur
Soumis le : mardi 10 mars 2020 - 15:39:12
Dernière modification le : samedi 26 mars 2022 - 04:30:04

Identifiants

  • HAL Id : hal-02504250, version 1

Collections

UNILIM | CNRS | SPCTS | SPCTS-AXE2 | IPAM | INC-CNRS | IRCER | IRCER-AXE2 | IMPEO

Citation

Dmitrii Ivchenko, Gilles Mariaux, Armelle Vardelle, L. Hallo. Continuum breakdown conditions in low power PS-PVD system. 9th RIPT, Dec 2019, Forschungszentrum Jülich, Germany. ⟨hal-02504250⟩

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