Continuum breakdown conditions in low power PS-PVD system

Dmitrii Ivchenko; Gilles Mariaux; Armelle Vardelle; L. Hallo

Communication dans un congrès

Continuum breakdown conditions in low power PS-PVD system

Dmitrii Ivchenko ¹ Gilles Mariaux ¹ Armelle Vardelle ¹ L. Hallo

1 IRCER-AXE2 - IRCER - Axe 2 : procédés plasmas et lasers

IRCER - Institut de Recherche sur les CERamiques : AXE2

Type de document :

Communication dans un congrès

Domaine :

Chimie / Matériaux

Sciences de l'ingénieur [physics] / Matériaux

Liste complète des métadonnées

https://hal-unilim.archives-ouvertes.fr/hal-02504250
Contributeur : Beatrice Derory Connectez-vous pour contacter le contributeur
Soumis le : mardi 10 mars 2020 - 15:39:12
Dernière modification le : mercredi 3 novembre 2021 - 08:45:41

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