Intégration de nanofils de dioxyde de vanadium monocristallins dans des composants pour l'électronique des hautes fréquences

Jean-Christophe Orlianges (1) , Aurelian Crunteanu (2) , Alexandre Boulle (3) , Eduard-Nicolae Sirjita (4) , S. Tardif (5) , Jean-Sébastien Micha (6, 7) , Virginie Thery (8) , Anaïs Masson (9)

1 XLIM-RFEI - RF-ELITE : RF-Electronique Imprimée pour les Télécommunications et l'Energie
2 Labex ∑-lim - Laboratoire d'Excellence Sigma-Lim "Des matériaux et composants céramiques spécifiques aux systèmes communicants intégrés, sécurisés, et intelligents" [Labex]
3 ENSCI - Ecole Nationale Supérieure de Céramique Industrielle
4 XLIM - XLIM
5 NRS - Nanostructures et Rayonnement Synchrotron
6 ESRF - European Synchrotron Radiation Facility [Grenoble]
7 SYMMES - SYstèmes Moléculaires et nanoMatériaux pour l’Energie et la Santé
8 SPCTS - Science des Procédés Céramiques et de Traitements de Surface
9 ENSIL-ENSCI Formation: Céramique Industrielle

Mots clés: nanofils; dioxyde de vanadium; VO2; commutateurs RF; micro-ondes

Domaines: Micro et nanotechnologies/Microélectronique

Jean-Christophe Orlianges, Aurelian Crunteanu, Alexandre Boulle, Eduard-Nicolae Sirjita, S. Tardif, et al.. Intégration de nanofils de dioxyde de vanadium monocristallins dans des composants pour l'électronique des hautes fréquences. Matériaux 2022, Oct 2022, Lille, France. ⟨hal-03934202⟩