Conception de micro-commutateurs MEMS capacitifs miniatures utilisant des nanotubes de carbone comme matériau structurel

Aurélie Verger; Arnaud Pothier; Jean-Christophe Orlianges; Pierre Blondy

Communication dans un congrès

Conception de micro-commutateurs MEMS capacitifs miniatures utilisant des nanotubes de carbone comme matériau structurel

Aurélie Verger ¹ Arnaud Pothier ¹ Jean-Christophe Orlianges ¹ Pierre Blondy ¹

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XLIM - XLIM

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https://hal-unilim.archives-ouvertes.fr/hal-00436307
Contributeur : Marie-Laure Guillat <>
Soumis le : jeudi 26 novembre 2009 - 12:09:14
Dernière modification le : jeudi 19 décembre 2019 - 17:48:01

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