Conception de micro-commutateurs MEMS capacitifs miniatures utilisant des nanotubes de carbone comme matériau structurel

Type de document :
Communication dans un congrès
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Contributeur : Marie-Laure Guillat <>
Soumis le : jeudi 26 novembre 2009 - 12:09:14
Dernière modification le : jeudi 11 janvier 2018 - 06:26:12

Identifiants

  • HAL Id : hal-00436307, version 1

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Citation

Aurélie Verger, Arnaud Pothier, Jean-Christophe Orlianges, Pierre Blondy. Conception de micro-commutateurs MEMS capacitifs miniatures utilisant des nanotubes de carbone comme matériau structurel. 16èmes Journées Nationales Microondes (JNM 2009), May 2009, Grenoble, France. pp.4F-3 Session Affiche. ⟨hal-00436307⟩

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