Enhanced piezoelectric properties of aluminium doped zinc oxide thin film for surface acoustic wave resonators on a CMOS platform

A.A Ralib Oussama Mortada 1 Jean-Christophe Orlianges 1 Aurelian Crunteanu 1 Matthieu Chatras 1 A.N Nordin
1 XLIM-RFEI - RF-ELITE : RF-Electronique Imprimée pour les Télécommunications et l'Energie
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Soumis le : vendredi 21 juillet 2017 - 08:36:25
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A.A Ralib, Oussama Mortada, Jean-Christophe Orlianges, Aurelian Crunteanu, Matthieu Chatras, et al.. Enhanced piezoelectric properties of aluminium doped zinc oxide thin film for surface acoustic wave resonators on a CMOS platform. Journal of Materials Science: Materials in Electronics, Springer Verlag, 2017, 28 (12), pp.9132-9138. ⟨hal-01566404⟩

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