Enhanced piezoelectric properties of aluminium doped zinc oxide thin film for surface acoustic wave resonators on a CMOS platform - Archive ouverte HAL Accéder directement au contenu
Article Dans Une Revue Journal of Materials Science: Materials in Electronics Année : 2017

Enhanced piezoelectric properties of aluminium doped zinc oxide thin film for surface acoustic wave resonators on a CMOS platform

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Domaines

Sciences de l'ingénieur [physics] Electronique

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Soumis le : vendredi 21 juillet 2017-08:36:25

Dernière modification le : vendredi 7 janvier 2022-03:45:23

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Dates et versions

hal-01566404 , version 1 (21-07-2017)

Identifiants

  • HAL Id : hal-01566404 , version 1

Citer

A.A Ralib, Oussama Mortada, Jean-Christophe Orlianges, Aurelian Crunteanu, Matthieu Chatras, et al.. Enhanced piezoelectric properties of aluminium doped zinc oxide thin film for surface acoustic wave resonators on a CMOS platform. Journal of Materials Science: Materials in Electronics, 2017, 28 (12), pp.9132-9138. ⟨hal-01566404⟩

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