Enhanced piezoelectric properties of aluminium doped zinc oxide thin film for surface acoustic wave resonators on a CMOS platform

A.A Ralib; Oussama Mortada; Jean-Christophe Orlianges; Aurelian Crunteanu; Matthieu Chatras; A.N Nordin

Enhanced piezoelectric properties of aluminium doped zinc oxide thin film for surface acoustic wave resonators on a CMOS platform

A.A Ralib Oussama Mortada ¹ Jean-Christophe Orlianges ¹ Aurelian Crunteanu ¹ Matthieu Chatras ¹ A.N Nordin

1 XLIM-RFEI - RF-ELITE : RF-Electronique Imprimée pour les Télécommunications et l'Energie

XLIM - XLIM : RFEI

Type de document :

Article dans une revue

Journal of Materials Science: Materials in Electronics, Springer Verlag, 2017, 28 (12), pp.9132-9138

Domaine :

Sciences de l'ingénieur [physics] / Electronique

Liste complète des métadonnées

https://hal-unilim.archives-ouvertes.fr/hal-01566404
Contributeur : Matthieu Chatras <>
Soumis le : vendredi 21 juillet 2017 - 08:36:25
Dernière modification le : jeudi 11 janvier 2018 - 06:27:37

Enhanced piezoelectric properties of aluminium doped zinc oxide thin film for surface acoustic wave resonators on a CMOS platform

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