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Article dans une revue

Enhanced piezoelectric properties of aluminium doped zinc oxide thin film for surface acoustic wave resonators on a CMOS platform

Liste complète des métadonnées

https://hal-unilim.archives-ouvertes.fr/hal-01566404
Contributeur : Matthieu Chatras <>
Soumis le : vendredi 21 juillet 2017 - 08:36:25
Dernière modification le : mardi 12 novembre 2019 - 14:06:03

Identifiants

  • HAL Id : hal-01566404, version 1

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Citation

A.A Ralib, Oussama Mortada, Jean-Christophe Orlianges, Aurelian Crunteanu, Matthieu Chatras, et al.. Enhanced piezoelectric properties of aluminium doped zinc oxide thin film for surface acoustic wave resonators on a CMOS platform. Journal of Materials Science: Materials in Electronics, Springer Verlag, 2017, 28 (12), pp.9132-9138. ⟨hal-01566404⟩

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