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Enhanced piezoelectric properties of aluminium doped zinc oxide thin film for surface acoustic wave resonators on a CMOS platform

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https://hal-unilim.archives-ouvertes.fr/hal-01566404
Contributeur : Matthieu Chatras Connectez-vous pour contacter le contributeur
Soumis le : vendredi 21 juillet 2017 - 08:36:25
Dernière modification le : vendredi 7 janvier 2022 - 03:45:23

Identifiants

  • HAL Id : hal-01566404, version 1

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Citation

A.A Ralib, Oussama Mortada, Jean-Christophe Orlianges, Aurelian Crunteanu, Matthieu Chatras, et al.. Enhanced piezoelectric properties of aluminium doped zinc oxide thin film for surface acoustic wave resonators on a CMOS platform. Journal of Materials Science: Materials in Electronics, Springer Verlag, 2017, 28 (12), pp.9132-9138. ⟨hal-01566404⟩

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