Molybdenum and titanium nitride films processed in expanding (Ar-N2-H2) microwave plasma

Isabelle Jauberteau; Richard Mayet; Julie Cornette; Pierre Carles; D. Mangin; A. Bessaudou; A. Passelergue; Jean-Louis Jauberteau; T. Merle-Mejean

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Molybdenum and titanium nitride films processed in expanding (Ar-N2-H2) microwave plasma

Isabelle Jauberteau ¹ Richard Mayet ² Julie Cornette ³ Pierre Carles ² D. Mangin A. Bessaudou A. Passelergue Jean-Louis Jauberteau ¹ T. Merle-Mejean

1 SPCTS-AXE2 - Axe 2 : procédés plasmas et lasers

SPCTS - Science des Procédés Céramiques et de Traitements de Surface

2 SPCTS - Science des Procédés Céramiques et de Traitements de Surface

3 SPCTS-AXE3 - Axe 3 : organisation structurale multiéchelle des matériaux

SPCTS - Science des Procédés Céramiques et de Traitements de Surface

Isabelle Jauberteau ¹ AuthorId : 667920

Auteur IdHAL : isabelle-jauberteau

Richard Mayet ² AuthorId : 956621

Auteur

Julie Cornette ³ AuthorId : 754116

Auteur

Pierre Carles ² AuthorId : 1126566

Auteur Etablissement employeur : Université de Limoges

D. Mangin AuthorId : 76449
Auteur

A. Bessaudou AuthorId : 11141244
Auteur

A. Passelergue AuthorId : 11244840
Auteur

Jean-Louis Jauberteau ¹ AuthorId : 667923

Auteur

T. Merle-Mejean AuthorId : 124367
Auteur

1 SPCTS-AXE2 - Axe 2 : procédés plasmas et lasers (France) StructId : 410758

SPCTS - Science des Procédés Céramiques et de Traitements de Surface (SPCTS, Centre Européen de la Céramique, 12 Rue Atlantis, 87068 LIMOGES CEDEX - France) StructId : 179082
- UNILIM - Université de Limoges : UMR7315 (33 rue François Mitterrand BP23204 87032 Limoges - France) StructId : 5928
- ENSCI - Ecole Nationale Supérieure de Céramique Industrielle : UMR7315 (Centre Européen de la Céramique - 12, rue Atlantis - 87068 Limoges Cedex - France) StructId : 300398
- IPAM - Institut des Procédés Appliqués aux Matériaux : UMR7315 (Centre Européen de la Céramique 12, rue Atlantis, parc d’Ester 87068 Limoges Cedex - France) StructId : 301999
  - UNILIM - Université de Limoges (33 rue François Mitterrand BP23204 87032 Limoges - France) StructId : 5928
- INC - Institut de Chimie du CNRS : UMR7315 (3 Rue Michel-Ange 75 016 Paris - France) StructId : 341038
- CNRS - Centre National de la Recherche Scientifique : UMR7315 (France) StructId : 441569

2 SPCTS - Science des Procédés Céramiques et de Traitements de Surface (SPCTS, Centre Européen de la Céramique, 12 Rue Atlantis, 87068 LIMOGES CEDEX - France) StructId : 179082

UNILIM - Université de Limoges : UMR7315 (33 rue François Mitterrand BP23204 87032 Limoges - France) StructId : 5928
ENSCI - Ecole Nationale Supérieure de Céramique Industrielle : UMR7315 (Centre Européen de la Céramique - 12, rue Atlantis - 87068 Limoges Cedex - France) StructId : 300398
IPAM - Institut des Procédés Appliqués aux Matériaux : UMR7315 (Centre Européen de la Céramique 12, rue Atlantis, parc d’Ester 87068 Limoges Cedex - France) StructId : 301999
- UNILIM - Université de Limoges (33 rue François Mitterrand BP23204 87032 Limoges - France) StructId : 5928
INC - Institut de Chimie du CNRS : UMR7315 (3 Rue Michel-Ange 75 016 Paris - France) StructId : 341038
CNRS - Centre National de la Recherche Scientifique : UMR7315 (France) StructId : 441569

3 SPCTS-AXE3 - Axe 3 : organisation structurale multiéchelle des matériaux (France) StructId : 389672

SPCTS - Science des Procédés Céramiques et de Traitements de Surface (SPCTS, Centre Européen de la Céramique, 12 Rue Atlantis, 87068 LIMOGES CEDEX - France) StructId : 179082
- UNILIM - Université de Limoges : UMR7315 (33 rue François Mitterrand BP23204 87032 Limoges - France) StructId : 5928
- ENSCI - Ecole Nationale Supérieure de Céramique Industrielle : UMR7315 (Centre Européen de la Céramique - 12, rue Atlantis - 87068 Limoges Cedex - France) StructId : 300398
- IPAM - Institut des Procédés Appliqués aux Matériaux : UMR7315 (Centre Européen de la Céramique 12, rue Atlantis, parc d’Ester 87068 Limoges Cedex - France) StructId : 301999
  - UNILIM - Université de Limoges (33 rue François Mitterrand BP23204 87032 Limoges - France) StructId : 5928
- INC - Institut de Chimie du CNRS : UMR7315 (3 Rue Michel-Ange 75 016 Paris - France) StructId : 341038
- CNRS - Centre National de la Recherche Scientifique : UMR7315 (France) StructId : 441569

Type de document :

Poster

Domaine :

Chimie / Matériaux

Sciences de l'ingénieur [physics] / Matériaux

Liste complète des métadonnées

https://hal-unilim.archives-ouvertes.fr/hal-01841155
Contributeur : Beatrice Derory <>
Soumis le : mardi 17 juillet 2018 - 10:12:21
Dernière modification le : mercredi 18 juillet 2018 - 01:15:51

Identifiants

HAL Id : hal-01841155, version 1

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Citation

Isabelle Jauberteau, Richard Mayet, Julie Cornette, Pierre Carles, D. Mangin, et al.. Molybdenum and titanium nitride films processed in expanding (Ar-N2-H2) microwave plasma. IWAC 07, Sep 2016, Limoges, France. ⟨hal-01841155⟩

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