Molybdenum and titanium nitride films processed in expanding (Ar-N2-H2) microwave plasma

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Contributeur : Beatrice Derory <>
Soumis le : mardi 17 juillet 2018 - 10:12:21
Dernière modification le : mercredi 18 juillet 2018 - 01:15:51

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  • HAL Id : hal-01841155, version 1

Citation

Isabelle Jauberteau, Richard Mayet, Julie Cornette, Pierre Carles, D. Mangin, et al.. Molybdenum and titanium nitride films processed in expanding (Ar-N2-H2) microwave plasma. IWAC 07, Sep 2016, Limoges, France. ⟨hal-01841155⟩

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