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Poster
Molybdenum and titanium nitride films processed in expanding (Ar-N2-H2) microwave plasma
Isabelle Jauberteau
1
Richard Mayet
2
Julie Cornette
3
Pierre Carles
2
D. Mangin
A. Bessaudou
A. Passelergue
Jean-Louis Jauberteau
1
T. Merle-Mejean
1
SPCTS-AXE2 - Axe 2 : procédés plasmas et lasers
SPCTS - Science des Procédés Céramiques et de Traitements de Surface
3
SPCTS-AXE3 - Axe 3 : organisation structurale multiéchelle des matériaux
SPCTS - Science des Procédés Céramiques et de Traitements de Surface
Isabelle Jauberteau 1
Auteur IdHAL : isabelle-jauberteau
Richard Mayet 2
Auteur
Julie Cornette 3
Auteur
Pierre Carles 2
Auteur Etablissement employeur : Université de Limoges
D. Mangin
Auteur
A. Bessaudou
Auteur
A. Passelergue
Auteur IdHAL : armand-passelergue
Jean-Louis Jauberteau 1
Auteur
T. Merle-Mejean
Auteur
1
SPCTS-AXE2 - Axe 2 : procédés plasmas et lasers (France)
- SPCTS - Science des Procédés Céramiques et de Traitements de Surface (SPCTS, Centre Européen de la Céramique, 12 Rue Atlantis, 87068 LIMOGES CEDEX - France)
- UNILIM - Université de Limoges : UMR7315 (33 rue François Mitterrand BP23204 87032 Limoges - France)
- CNRS - Centre National de la Recherche Scientifique : UMR7315 (France)
- INC - Institut de Chimie du CNRS : UMR7315 (3 Rue Michel-Ange 75 016 Paris - France)
- ENSCI - Ecole Nationale Supérieure de Céramique Industrielle : UMR7315 (Centre Européen de la Céramique - 12, rue Atlantis - 87068 Limoges Cedex - France)
- IPAM - Institut des Procédés Appliqués aux Matériaux : UMR7315 (Centre Européen de la Céramique
12, rue Atlantis, parc d’Ester
87068 Limoges Cedex - France)
- UNILIM - Université de Limoges (33 rue François Mitterrand BP23204 87032 Limoges - France)
2
SPCTS - Science des Procédés Céramiques et de Traitements de Surface (SPCTS, Centre Européen de la Céramique, 12 Rue Atlantis, 87068 LIMOGES CEDEX - France)
- UNILIM - Université de Limoges : UMR7315 (33 rue François Mitterrand BP23204 87032 Limoges - France)
- CNRS - Centre National de la Recherche Scientifique : UMR7315 (France)
- INC - Institut de Chimie du CNRS : UMR7315 (3 Rue Michel-Ange 75 016 Paris - France)
- ENSCI - Ecole Nationale Supérieure de Céramique Industrielle : UMR7315 (Centre Européen de la Céramique - 12, rue Atlantis - 87068 Limoges Cedex - France)
- IPAM - Institut des Procédés Appliqués aux Matériaux : UMR7315 (Centre Européen de la Céramique
12, rue Atlantis, parc d’Ester
87068 Limoges Cedex - France)
- UNILIM - Université de Limoges (33 rue François Mitterrand BP23204 87032 Limoges - France)
3
SPCTS-AXE3 - Axe 3 : organisation structurale multiéchelle des matériaux (France)
- SPCTS - Science des Procédés Céramiques et de Traitements de Surface (SPCTS, Centre Européen de la Céramique, 12 Rue Atlantis, 87068 LIMOGES CEDEX - France)
- UNILIM - Université de Limoges : UMR7315 (33 rue François Mitterrand BP23204 87032 Limoges - France)
- CNRS - Centre National de la Recherche Scientifique : UMR7315 (France)
- INC - Institut de Chimie du CNRS : UMR7315 (3 Rue Michel-Ange 75 016 Paris - France)
- ENSCI - Ecole Nationale Supérieure de Céramique Industrielle : UMR7315 (Centre Européen de la Céramique - 12, rue Atlantis - 87068 Limoges Cedex - France)
- IPAM - Institut des Procédés Appliqués aux Matériaux : UMR7315 (Centre Européen de la Céramique
12, rue Atlantis, parc d’Ester
87068 Limoges Cedex - France)
- UNILIM - Université de Limoges (33 rue François Mitterrand BP23204 87032 Limoges - France)
Type de document :
Poster
Domaine :
Liste complète des métadonnées
https://hal-unilim.archives-ouvertes.fr/hal-01841155
Contributeur : Beatrice Derory <>
Soumis le : mardi 17 juillet 2018 - 10:12:21
Dernière modification le : mercredi 11 décembre 2019 - 16:16:01
Contributeur : Beatrice Derory <>
Soumis le : mardi 17 juillet 2018 - 10:12:21
Dernière modification le : mercredi 11 décembre 2019 - 16:16:01
Identifiants
- HAL Id : hal-01841155, version 1
Collections
UNILIM | CNRS | IPAM | SPCTS-AXE3 | INC-CNRS | SPCTS | IRCER | SPCTS-AXE2 | IRCER-AXE2 | IRCER-AXE3
Citation
Isabelle Jauberteau, Richard Mayet, Julie Cornette, Pierre Carles, D. Mangin, et al.. Molybdenum and titanium nitride films processed in expanding (Ar-N2-H2) microwave plasma. IWAC 07, Sep 2016, Limoges, France. ⟨hal-01841155⟩
Métriques
Consultations de la notice
