Molybdenum and titanium nitride films processed in expanding (Ar-N2-H2) microwave plasma - Archive ouverte HAL Accéder directement au contenu
Poster De Conférence Année :

Molybdenum and titanium nitride films processed in expanding (Ar-N2-H2) microwave plasma

Isabelle Jauberteau
Axe 2 : procédés plasmas et lasers
Richard Mayet
  • Fonction : Auteur
  • PersonId : 949786
Science des Procédés Céramiques et de Traitements de Surface
Julie Cornette
  • Fonction : Auteur
  • PersonId : 929131
Axe 3 : organisation structurale multiéchelle des matériaux
Pierre Carles
  • Fonction : Auteur
  • PersonId : 963879
Science des Procédés Céramiques et de Traitements de Surface
D. Mangin
  • Fonction : Auteur
A. Bessaudou
  • Fonction : Auteur
A. Passelergue
Jean-Louis Jauberteau
  • Fonction : Auteur
  • PersonId : 915590
Axe 2 : procédés plasmas et lasers
T. Merle-Mejean
  • Fonction : Auteur

Domaines

Chimie Matériaux Sciences de l'ingénieur [physics] Matériaux

BEATRICE DERORY  : Connectez-vous pour contacter le contributeur

https://hal-unilim.archives-ouvertes.fr/hal-01841155

Soumis le : mardi 17 juillet 2018-10:12:21

Dernière modification le : jeudi 9 février 2023-05:17:09

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-01841155 , version 1 (17-07-2018)

Identifiants

  • HAL Id : hal-01841155 , version 1

Citer

Isabelle Jauberteau, Richard Mayet, Julie Cornette, Pierre Carles, D. Mangin, et al.. Molybdenum and titanium nitride films processed in expanding (Ar-N2-H2) microwave plasma. IWAC 07, Sep 2016, Limoges, France. ⟨hal-01841155⟩

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