Molybdenum and titanium nitride films processed in expanding (Ar-N2-H2) microwave plasma - Archive ouverte HAL Accéder directement au contenu
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Dates et versions

hal-01841155 , version 1 (17-07-2018)

Identifiants

  • HAL Id : hal-01841155 , version 1

Citer

Isabelle Jauberteau, Richard Mayet, Julie Cornette, Pierre Carles, D. Mangin, et al.. Molybdenum and titanium nitride films processed in expanding (Ar-N2-H2) microwave plasma. IWAC 07, Sep 2016, Limoges, France. ⟨hal-01841155⟩
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