Procédés plasmas pour le dépôt de films minces DLC

Cédric Jaoul 1 O. Jarry J.P. Lavoute Laureline Kilmann 1 Christelle Dublanche-Tixier 1 Maggy Colas 2 Pascal Tristant 1
1 Axe 2 : procédés de traitements de surface
SPCTS - Science des Procédés Céramiques et de Traitements de Surface
2 SPCTS-AXE3 - Axe 3 : organisation structurale multiéchelle des matériaux
SPCTS - Science des Procédés Céramiques et de Traitements de Surface
Type de document :
Communication dans un congrès
Liste complète des métadonnées

https://hal-unilim.archives-ouvertes.fr/hal-01848477
Contributeur : Beatrice Derory <>
Soumis le : mardi 24 juillet 2018 - 16:15:12
Dernière modification le : mercredi 25 juillet 2018 - 01:20:26

Identifiants

  • HAL Id : hal-01848477, version 1

Citation

Cédric Jaoul, O. Jarry, J.P. Lavoute, Laureline Kilmann, Christelle Dublanche-Tixier, et al.. Procédés plasmas pour le dépôt de films minces DLC . Journées Mat2VL Matériaux Carbonés 2016, Mar 2016, Orléans, France. ⟨hal-01848477⟩

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