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Article dans une revue
Optimized nc-Si:H thin films with enhanced optoelectronic properties prepared by micro-waves PECVD used as an effective silicon surface passivation layer
Seif El Whibi
Lotfi Derbali
Pascal Tristant
1
Cédric Jaoul
1
Maggy Colas
2
Richard Mayet
3
Julie Cornette
2
Hatem Ezzaouia
4
1
IRCER-AXE2 - IRCER - Axe 2 : procédés plasmas et lasers
IRCER - Institut de Recherche sur les CERamiques : AXE2
2
IRCER-AXE3 - IRCER - Axe 3 : organisation structurale multiéchelle des matériaux
IRCER - Institut de Recherche sur les CERamiques : AXE3
Seif El Whibi
Auteur
Lotfi Derbali
Auteur
Pascal Tristant 1
Auteur IdHAL : pascal-tristant
Cédric Jaoul 1
Auteur IdHAL : cedric-jaoul
Maggy Colas 2
Auteur Etablissement employeur : Centre National de la Recherche Scientifique IdHAL : maggy-colas
Richard Mayet 3
Auteur
Julie Cornette 2
Auteur
Hatem Ezzaouia 4
Auteur
1
IRCER-AXE2 - IRCER - Axe 2 : procédés plasmas et lasers (Centre Européen de la Céramique, 12 Rue Atlantis, 87068 LIMOGES CEDEX - France)
- IRCER - Institut de Recherche sur les CERamiques : AXE2 (Centre Européen de la Céramique, 12 Rue Atlantis, 87068 LIMOGES CEDEX - France)
- IPAM - Institut des Procédés Appliqués aux Matériaux (Centre Européen de la Céramique
12, rue Atlantis, parc d’Ester
87068 Limoges Cedex - France)
- UNILIM - Université de Limoges (33 rue François Mitterrand BP23204 87032 Limoges - France)
- INC - Institut de Chimie du CNRS : UMR7315 (3 Rue Michel-Ange 75 016 Paris - France)
- CNRS - Centre National de la Recherche Scientifique : UMR7315 (France)
- IPAM - Institut des Procédés Appliqués aux Matériaux (Centre Européen de la Céramique
12, rue Atlantis, parc d’Ester
87068 Limoges Cedex - France)
2
IRCER-AXE3 - IRCER - Axe 3 : organisation structurale multiéchelle des matériaux (Centre européen de la Céramique - 12 rue Atlantis
87068 LIMOGES CEDEX 3 - France)
- IRCER - Institut de Recherche sur les CERamiques : AXE3 (Centre Européen de la Céramique, 12 Rue Atlantis, 87068 LIMOGES CEDEX - France)
- IPAM - Institut des Procédés Appliqués aux Matériaux (Centre Européen de la Céramique
12, rue Atlantis, parc d’Ester
87068 Limoges Cedex - France)
- UNILIM - Université de Limoges (33 rue François Mitterrand BP23204 87032 Limoges - France)
- INC - Institut de Chimie du CNRS : UMR7315 (3 Rue Michel-Ange 75 016 Paris - France)
- CNRS - Centre National de la Recherche Scientifique : UMR7315 (France)
- IPAM - Institut des Procédés Appliqués aux Matériaux (Centre Européen de la Céramique
12, rue Atlantis, parc d’Ester
87068 Limoges Cedex - France)
3
IRCER - Institut de Recherche sur les CERamiques (Centre Européen de la Céramique, 12 Rue Atlantis, 87068 LIMOGES CEDEX - France)
- IPAM - Institut des Procédés Appliqués aux Matériaux (Centre Européen de la Céramique
12, rue Atlantis, parc d’Ester
87068 Limoges Cedex - France)
- UNILIM - Université de Limoges (33 rue François Mitterrand BP23204 87032 Limoges - France)
- INC - Institut de Chimie du CNRS : UMR7315 (3 Rue Michel-Ange 75 016 Paris - France)
- CNRS - Centre National de la Recherche Scientifique : UMR7315 (France)
4
LSNTA - Laboratory of Semiconductors, Nanostructures and Advanced Technology (Center for Research and Technology Energy, Tourist Route Soliman, BP 95, 2050 Hammam-Lif - Tunisie)
Type de document :
Article dans une revue
Domaine :
Liste complète des métadonnées
https://hal-unilim.archives-ouvertes.fr/hal-02172223
Contributeur : Beatrice Derory <>
Soumis le : mercredi 3 juillet 2019 - 15:51:31
Dernière modification le : jeudi 4 juillet 2019 - 05:29:53
Contributeur : Beatrice Derory <>
Soumis le : mercredi 3 juillet 2019 - 15:51:31
Dernière modification le : jeudi 4 juillet 2019 - 05:29:53
Identifiants
- HAL Id : hal-02172223, version 1
- DOI : 10.1007/s10854-018-0508-9
Collections
UNILIM | CNRS | SPCTS-AXE3 | INC-CNRS | SPCTS | IPAM | IRCER | SPCTS-AXE2 | IRCER-AXE2 | IRCER-AXE3
Citation
Seif El Whibi, Lotfi Derbali, Pascal Tristant, Cédric Jaoul, Maggy Colas, et al.. Optimized nc-Si:H thin films with enhanced optoelectronic properties prepared by micro-waves PECVD used as an effective silicon surface passivation layer. Journal of Materials Science: Materials in Electronics, Springer Verlag, 2019, 30 (3), pp.2351-2359. ⟨10.1007/s10854-018-0508-9⟩. ⟨hal-02172223⟩
Métriques
Consultations de la notice
