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Films de TiO2 déposés par PECVD à la pression atmosphérique: optimisation des dépôts et évaluation des propriétés optiques pour le photovoltaïque

Type de document :
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Liste complète des métadonnées

https://hal-unilim.archives-ouvertes.fr/hal-02174447
Contributeur : BEATRICE DERORY Connectez-vous pour contacter le contributeur
Soumis le : vendredi 5 juillet 2019 - 09:59:01
Dernière modification le : samedi 26 mars 2022 - 04:29:41

Identifiants

  • HAL Id : hal-02174447, version 1

Citation

Amelie Perraudeau, Christelle Dublanche-Tixier, Christophe Chazelas, Pascal Tristant, C. Le Niniven, et al.. Films de TiO2 déposés par PECVD à la pression atmosphérique: optimisation des dépôts et évaluation des propriétés optiques pour le photovoltaïque. JCMM 2018, Mar 2018, Paris, France. ⟨hal-02174447⟩

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