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Communication dans un congrès

Elaboration of an aluminum oxide thin film deposited by magnetron sputtering on boron nitride substrates: role of the physical and chemical properties of BN substrates

Type de document :
Communication dans un congrès
Liste complète des métadonnées

https://hal-unilim.archives-ouvertes.fr/hal-02409034
Contributeur : Beatrice Derory Connectez-vous pour contacter le contributeur
Soumis le : vendredi 13 décembre 2019 - 11:41:06
Dernière modification le : mercredi 3 novembre 2021 - 08:40:38

Identifiants

  • HAL Id : hal-02409034, version 1

Citation

Mariana Trujillo Arredondo, Cédric Jaoul, Sylvain Maine, Olivier Rapaud, Pascal Tristant. Elaboration of an aluminum oxide thin film deposited by magnetron sputtering on boron nitride substrates: role of the physical and chemical properties of BN substrates. XVI ECerS Conference 2019, Jun 2019, Torino, Italy. ⟨hal-02409034⟩

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