Functionalisation of self-organized networked SiOxHyCz nano-islands deposited by atmospheric pressure microwave plasma torch on Au/Si(100) substrates patterned by nano-indentation

Xavier Landreau; B. Boens; B. Lanfant; Thérèse Merle-Méjean; G. Bouscarrat; Christelle Dublanche-Tixier; R. Zerrouki; Pascal Tristant

Functionalisation of self-organized networked SiOxHyCz nano-islands deposited by atmospheric pressure microwave plasma torch on Au/Si(100) substrates patterned by nano-indentation

Xavier Landreau ¹ B. Boens B. Lanfant Thérèse Merle-Méjean ² G. Bouscarrat Christelle Dublanche-Tixier ¹ R. Zerrouki Pascal Tristant ¹

1 Axe 2 : procédés de traitements de surface

SPCTS - Science des Procédés Céramiques et de Traitements de Surface

2 SPCTS-AXE3 - Axe 3 : organisation structurale multiéchelle des matériaux

SPCTS - Science des Procédés Céramiques et de Traitements de Surface

Type de document :

Communication dans un congrès

Domaine :

Chimie / Matériaux

Liste complète des métadonnées

https://hal-unilim.archives-ouvertes.fr/hal-00952029
Contributeur : Pamela Bathias <>
Soumis le : mercredi 26 février 2014 - 10:11:28
Dernière modification le : mercredi 14 février 2018 - 16:29:44

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