Functionalisation of self-organized networked SiOxHyCz nano-islands deposited by atmospheric pressure microwave plasma torch on Au/Si(100) substrates patterned by nano-indentation

Xavier Landreau 1 B. Boens B. Lanfant Thérèse Merle-Méjean 2 G. Bouscarrat Christelle Dublanche-Tixier 1 R. Zerrouki Pascal Tristant 1
1 Axe 2 : procédés de traitements de surface
SPCTS - Science des Procédés Céramiques et de Traitements de Surface
2 SPCTS-AXE3 - Axe 3 : organisation structurale multiéchelle des matériaux
SPCTS - Science des Procédés Céramiques et de Traitements de Surface
Type de document :
Communication dans un congrès
Domaine :
Liste complète des métadonnées

https://hal-unilim.archives-ouvertes.fr/hal-00952029
Contributeur : Pamela Bathias <>
Soumis le : mercredi 26 février 2014 - 10:11:28
Dernière modification le : mercredi 14 février 2018 - 16:29:44

Identifiants

  • HAL Id : hal-00952029, version 1

Citation

Xavier Landreau, B. Boens, B. Lanfant, Thérèse Merle-Méjean, G. Bouscarrat, et al.. Functionalisation of self-organized networked SiOxHyCz nano-islands deposited by atmospheric pressure microwave plasma torch on Au/Si(100) substrates patterned by nano-indentation. TechConnect World 2012, Jul 2012, Santa Clara, United States. ⟨hal-00952029⟩

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