Functionalisation of self-organized networked SiOxHyCz nano-islands deposited by atmospheric pressure microwave plasma torch on Au/Si(100) substrates patterned by nano-indentation - Archive ouverte HAL Accéder directement au contenu
Communication Dans Un Congrès Année :

Functionalisation of self-organized networked SiOxHyCz nano-islands deposited by atmospheric pressure microwave plasma torch on Au/Si(100) substrates patterned by nano-indentation

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B. Boens
  • Fonction : Auteur
B. Lanfant
  • Fonction : Auteur
G. Bouscarrat
  • Fonction : Auteur
R. Zerrouki
  • Fonction : Auteur

Domaines

Chimie Matériaux
Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00952029 , version 1 (26-02-2014)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00952029 , version 1

Citer

Xavier Landreau, B. Boens, B. Lanfant, Thérèse Merle-Méjean, G. Bouscarrat, et al.. Functionalisation of self-organized networked SiOxHyCz nano-islands deposited by atmospheric pressure microwave plasma torch on Au/Si(100) substrates patterned by nano-indentation. TechConnect World 2012, Jul 2012, Santa Clara, United States. ⟨hal-00952029⟩
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