Quality factor optimization of composite piezoelectric single cristal silicon micro-resonator

Oussama Mortada 1 Pierre Blondy 1 Matthieu Chatras 1 Aurelian Crunteanu 1 Michel Aubourg 1 Jean-Christophe Orlianges 2
2 Axe 2 : procédés de traitements de surface
SPCTS - Science des Procédés Céramiques et de Traitements de Surface
Type de document :
Communication dans un congrès
Liste complète des métadonnées

https://hal-unilim.archives-ouvertes.fr/hal-01211792
Contributeur : Matthieu Chatras <>
Soumis le : lundi 5 octobre 2015 - 17:48:27
Dernière modification le : mardi 12 novembre 2019 - 14:06:03

Identifiants

  • HAL Id : hal-01211792, version 1

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Citation

Oussama Mortada, Pierre Blondy, Matthieu Chatras, Aurelian Crunteanu, Michel Aubourg, et al.. Quality factor optimization of composite piezoelectric single cristal silicon micro-resonator. International Microwave Symposium, May 2015, Phoenix, United States. ⟨hal-01211792⟩

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